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sputtering chambers
Vertaling van "sputtering chambers" in Frans
chambres de pulvérisation
The apparatus comprises a series of connected sputtering chambers through which a substrate passes to undergo sequential deposition processes.
L'appareil comprend une série de chambres de pulvérisation reliées, à travers lesquelles un substrat passe pour subir des procédés de dépôt successifs.
Other lifts raise the tray, processed substrate, and masks from the carousel to the sputtering chambers.
D'autres élévateurs montent le plateau, le substrat traité et les masques depuis le carrousel jusqu'aux chambres de pulvérisation.
the apparatus may further include means for transporting a plurality of substrates through sputtering chambers at variable velocities
l'appareil peut également comporter des moyens pour transporter une pluralité de substrats à travers des chambres de pulvérisation à des vitesses variables
improved sputtering chambers for sputtering thin coatings onto substrates
des chambres de pulvérisation améliorées servant à pulvériser des revêtements minces sur des substrats
The carousel transports the tray, substrate and masks to the sputtering chambers and then back to the load lock for unloading.
Ce carrousel transporte le plateau, le substrat et les masques jusqu'aux chambres de pulvérisation puis il les ramène au sas de chargement afin de les décharger.
a plurality of sputtering chambers and a load lock chamber are connected to the main vacuum chamber
une pluralité de chambres de pulvérisation et un sas de chargement sont reliés à la chambre à vide principale
means for reducing the ambient pressure within the sputtering chambers to a vacuum level to enable sputtering operation
des moyens pour réduire la pression ambiante à l'intérieur des chambres de pulvérisation à un niveau de vide permettant l'opération de pulvérisation cathodique
The tray is selectively pressed against the lower access aperture of the load lock and sputtering chambers so as to isolate them from the main chamber.
Le plateau est sélectivement comprimé contre l'ouverture d'accès inférieure du sas de chargement et des chambres de pulvérisation de façon à les isoler de la chambre principale.
The sputtering chambers provided can either reduce the amount of overcoat sputtering material deposited onto the interior of the chamber and/or aid in retention of overcoat sputtering material which would otherwise fall onto substrates to be coated.
Les chambres de pulvérisation de l'invention peuvent, soit permettre de réduire la quantité de matériau de pulvérisation de revêtement déposé à l'intérieur de la chambre et/ou de faciliter la rétention de matériau de pulvérisation de revêtement qui chuteraient autrement sur les substrats à revêtir.
within the serial sputtering chambers of at least one deposition station there is at most partial environmental separation, whereas between different deposition stations the separation is made complete by utilization of valves.
a l'intérieur des chambres de pulvérisation en série d'au moins un poste de déposition il existe au plus une séparation partielle du milieu, tandis que la séparation est complète entre les différents postes de déposition grâce à l'utilisation de vannes.
The apparatus includes a plurality of buffer and sputtering chambers (12, 18, 20, 22A-E, 24A-C, 26 and 28-30), and an input end and an output end.
Cet appareil comporte une pluralité de chambres intermédiaires et de pulvérisations (12, 18, 20, 22A-E, 24A-C, 26 et 28-30), ainsi qu'une extrémité d'entrée et une extrémité de sortie.
Synoniemen voor sputtering chambers in het Engels
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