Thus, the sputtering target can be obtained as a more effective target.
The sputtering target is characterised through its low resistance and high density.
sputtering target with ultra-fine, oriented grains and method of making same
spectacle lenses are coated by ion vapour deposition by means of sputtering target materials
Additionally, the sputtering target has a low specific resistance.
De manière supplémentaire, la cible de pulvérisation cathodique a une faible résistance spécifique.
A magnet bar assembly is disposed inside a sputtering target.
Un ensemble barre aimantée est disposé à l'intérieur d'une cible de pulvérisation cathodique.
Also disclosed is a sputtering target member for producing a thin film.
L'invention concerne également un élément cible de pulvérisation cathodique destiné à produire un film mince.
Provided is an indium sputtering target that obtains a high film formation rate.
L'invention concerne une cible de pulvérisation cathodique d'indium qui obtient un taux de formation de film élevé.
A production method thereof and a sputtering target applicable thereto are also disclosed.
Il est également divulgué un procédé de fabrication de celui-ci et une cible de pulvérisation cathodique applicable à celui-ci.
process for the refurbishing of a sputtering target
procédé de remise en état d'une cible de pulvérisation cathodique
method of soldering a sputtering target to a backing member
procédé de brasage d'une cible de pulvérisation cathodique sur un élément de support
Provided is a sputtering target for forming a thin film transistor wiring film.
La présente invention concerne une cible de pulvérisation cathodique pour la formation d'un film de câblage d'un transistor à couches minces.
Thus, a sputtering target which is highly dense and has high quality can be supplied.
Ainsi, on peut obtenir une cible de pulvérisation cathodique extrêmement dense et de grande qualité.