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substrate processing apparatus having
Vertaling van "substrate processing apparatus having" in Frans
appareil de traitement de substrat comportant
A substrate processing apparatus having the electrolytic processing device is also provided.
L'invention concerne aussi un appareil de traitement électrolytique.
substrate processing apparatus having pressed together supply rolls
dispositif de traitement de substrat avec rouleaux d'alimentation comprimés l'un contre l'autre
A substrate processing apparatus having a plurality of modules for processing a substrate is provided.
La présente invention concerne un appareil de traitement d'un substrat ayant une pluralité de modules destinés à traiter un substrat.
substrate processing apparatus having a substrate transport with a front end extension and an internal substrate buffer
dispositif de traitement de substrats avec transporteur de substrat comportant une extension d'extrémité avant et un amortisseur de substrats interne
a substrate processing apparatus having a transport apparatus, at least one sensor connected to the transport apparatus and a controller
un appareil de traitement de substrat comportant un appareil de transport, au moins un capteur connecté à l'appareil de transport et une unité de commande
substrate processing apparatus having a transport chamber, a linear array of substrate holding modules alongside the transport chamber, and a substrate transport located in the chamber
appareil de traitement de substrats avec chambre de transport, rangée linéaire de porte-substrats sur la longueur de la chambre de transport, et transporteur de substrat dans la chambre
a substrate processing apparatus having a substrate transfer chamber, substrate processing modules attached to the exterior of the chamber, a substrate transfer robot connected to the chamber, and a substrate holder located in the chamber
un appareil de traitement de substrats doté d'une chambre de transfert de substrats, de modules de traitement de substrats fixés à l'extérieur de la chambre, d'un robot de transfert de substrats relié à la chambre et d'un support de substrats disposé dans la chambre
SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS HAVING A RADIANT CAVITY
APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT COMPORTANT UNE CAVITÉ RADIANTE
COOLING TYPE SHOWERHEAD AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS HAVING SAME
POMME DE DOUCHE DE TYPE À REFROIDISSEMENT ET APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT DOTÉ DE CELLE-CI
GAS DISCHARGE UNIT, MANUFACTURING METHOD FOR THE SAME, AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS HAVING THE SAME
UNITÉ D'ÉMISSION DE GAZ, SON PROCÉDÉ DE RÉALISATION ET APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT LA COMPRENANT
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