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substrate support structure
Vertaling van "substrate support structure" in Frans
structure de support de substrat
First, a liquid is applied on a surface of the substrate support structure.
Tout d'abord, un liquide est appliqué sur une surface de la structure de support de substrat.
The present invention relates to semiconductor reaction chambers including a substrate support structure with rapid temperature change capabilities.
La présente invention concerne des chambres de réaction de semi conducteurs comprenant une structure de support de substrat ayant des capacités de changement rapide de température.
Each of the gas injectors may be configured to generate a sheet of flowing gas over a substrate support structure.
Chacun des injecteurs de gaz peut être conçu pour produire une pellicule de gaz circulant sur une structure de support de substrat.
The mask support structure and the substrate support structure form a primary source of vibration.
La structure de support de masque et la structure de support de substrat forment une source primaire de vibration.
Provided is a substrate support structure which can prevent a crush rib from damaging components other than a substrate and has excellent working properties.
L'invention porte sur une structure de support de substrat qui peut empêcher une nervure à écrasement d'endommager des composants autres qu'un substrat et présente d'excellentes propriétés de fonctionnement.
the substrate support structure is characterized in that a box-shaped resinous case provided with a housing space section is divided into a first case
la structure de support de substrat est caractérisée en ce qu'un boîtier résineux parallélépipédique comprenant une section d'espace de logement est divisé en un premier boîtier
the invention relates to a method of clamping a substrate on a surface of a substrate support structure
l'invention concerne un procédé de serrage d'un substrat sur une surface d'une structure de support de substrat
a substrate support structure for clamping a substrate by means of a capillary force created by a liquid clamping layer having a lower pressure than its surroundings
une structure de support de substrat destinée au maintien par serrage d'un substrat à l'aide d'une force capillaire générée par une couche liquide de maintien par serrage dont la pression est plus faible que le milieu environnant
Deposition systems (100) include a reaction chamber (102), and a substrate support structure (114) disposed at least partially within the reaction chamber (102).
La présente invention se rapporte à des systèmes de dépôt (100) qui comprennent une chambre de réaction (102) ainsi qu'une structure de support de substrat (114) disposée au moins partiellement dans la chambre de réaction (102).
SUBSTRATE SUPPORT STRUCTURE, CLAMP PREPARATION UNIT, AND LITHOGRAPHY SYSTEM
STRUCTURE DE SUPPORT DE SUBSTRAT, UNITÉ DE PRÉPARATION DE MAINTIEN PAR SERRAGE, ET SYSTÈME LITHOGRAPHIQUE
A substantial part of the flexible portion extends over a plane substantially parallel to the substrate support structure surface.
Une part importante de la partie flexible s'étend sur un plan sensiblement parallèle à la surface de la structure de support du substrat.
Device manufacturing method and substrate processing apparatus, and substrate support structure
Procédé de fabrication d'un dispositif et appareil de traitement d'un substrat, et support de substrat
A substrate support structure (13) for clamping a substrate (12) on a surface (16) by means of a capillary layer of a liquid (11).
L'invention concerne une structure d'appui de support (13) permettant de serrer un support (12) sur une surface (16) au moyen d'une couche capillaire d'un liquide (11).
Synoniemen voor substrate support structure in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
Resultaten: 16. Exact: 16. Verstreken tijd: 46 ms.
