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time division multiplexed process
Vertaling van "time division multiplexed process" in Frans
procédé de multiplexage temporel
The present invention provides a method for controlling pressure in a chamber during a time division multiplexed process.
La présente invention a trait à une méthode pour le contrôle de pression dans une enceinte lors d'un procédé de multiplexage temporel.
selection of wavelengths for end point in a time division multiplexed process
choix de longueurs d'onde pour un point terminal dans un procédé de multiplexage temporel
The region is identified based upon the expected emission spectra of materials used during the time division multiplexed process.
La zone est identifiée en fonction des spectres d'émission prévus des matériaux utilisés au cours du processus à multiplexage dans le temps.
The characteristic process frequency is determined based upon the duration of the steps in the time division multiplexed process.
La fréquence caractéristique du processus est déterminée en fonction de la durée des étapes du processus à multiplexage dans le temps.
Changes in the magnitude of the monitored spectra indicate the endpoint of processes in the time division multiplexed process and transitions between layers of materials.
Les changements d'ampleur des spectres surveillés indiquent la fin des traitements du processus à multiplexage dans le temps, et les transitions entre les couches de matériaux.
The present invention provides a method for establishing endpoint during an alternating cyclical etch process or time division multiplexed process.
La présente invention concerne un procédé d'établissement d'un point terminal au cours d'un processus de gravure cyclique alternée ou d'un processus de multiplexage temporel.
an improved method for determining endpoint of a time division multiplexed process by monitoring an identified region of a spectral emission of the process at a characteristic process frequency
un procédé amélioré de détermination de la fin d'un processus à multiplexage dans le temps, par surveillance d'une zone identifiée d'émission spectrale du processus à une fréquence caractéristique du processus
SELECTION OF WAVELENGHTS FOR END POINT IN A TIME DIVISION MULTIPLEXED PROCESS
CHOIX DE LONGUEURS D'ONDE POUR UN POINT TERMINAL DANS UN PROCEDE DE MULTIPLEXAGE TEMPOREL
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
Resultaten: 8. Exact: 8. Verstreken tijd: 39 ms.
