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with an alkaline developing solution
Vertaling van "with an alkaline developing solution" in Frans
avec une solution de développement alcaline
developing said image-wise exposed precursor with an alkaline developing solution
développement dudit précurseur exposé sous forme d'image avec une solution de développement alcaline
developing said image-wise exposed precursor with an alkaline developing solution comprising a compound having at least two onium groups
développer ledit précurseur exposé d'après l'image à l'aide d'une solution de développement alcaline comprenant un composé doté d'au moins deux groupes onium
developing said image-wise exposed precursor with an alkaline developing solution and comprising an antisludge agent, characterised in that said antisludge agent is a heteroaromatic compound comprising at least one thiol group
à développer ledit précurseur exposé dans le sens de l'image avec une solution de développement alcaline et comprenant un agent anti-dépôt, caractérisé en ce que ledit agent anti-dépôt est un composé hétéroaromatique comprenant au moins un groupe thiol
[PROBLEMS] Disclosed is a composition for forming an antireflective film which is used in the lithography process in semiconductor device production and can be developed with an alkaline developing solution for photoresists.
L'invention concerne une composition de formation d'un film antiréfléchissant que l'on utilise dans le procédé de lithographie lors de la production d'une dispositif à semi-conducteurs et qui peut être mise au point avec une solution de mise au point alcaline pour des résines photosensibles.
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