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gas processing system

Vertaling van "gas processing system" in Japans

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ガス処理システム
排ガス処理システム
A gas processing system (1) is provided with: a water-cooled combustion-type harm removing device (2) which, with silane that is a semiconductor material gas and a gaseous fluoride such as NF3, CF4, C2F6, SF6, CHF3, or CF6 that is used as a cleaning gas when the interiors of closed chambers (C1, C2... Cn) of a plasma CVD device and the like are cleaned by plasma as gases to be processed, performs combustion decomposition and washing dust collection on the gases to be processed; an electric dust collection device (3) which performs electric dust collection on process gas after the combustion decomposition and washing dust collection; and a pipe (4) for sending the process gas after the electric dust collection to a plant scrubber facility (5).
【解決手段】ガス処理システム１は、半導体材料ガスであるシランや、プラズマＣＶＤ装置等の密閉チャンバＣ１、Ｃ２…Ｃｎ内を例えばプラズマでクリーニングする際のクリーニングガスとして使用するＮＦ３、ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、ＳＦ６、ＣＨＦ３、ＣＦ６等のガス状フッ化物を被処理ガスとし、これらの被処理ガスに対して燃焼分解及び洗浄集塵を行う水冷燃焼式除害装置２と、燃焼分解及び洗浄集塵後の処理ガスに対して電気集塵を行う電気集塵装置３と、電気集塵後の処理ガスを工場スクラバー設備５へ送る配管４と、を備えるものとする。
ORGANIC SOLVENT-CONTAINING GAS PROCESSING SYSTEM
有機溶剤含有ガス処理システム
Provided is a gas processing system suitable for achieving cost reduction, size reduction and improvement of maintenability of the entire gas processing system including a pipe.
【課題】配管を含むガス処理システム全体の低価格化、コンパクト化、メンテナンス性の向上を図るのに好適なガス処理システムを提供する。
Disclosed is an emission gas processing system provided with a wet flue gas desulfurization device and a CO2 chemical absorption device, wherein issues caused by mercury in emission gas are solved and release of metallic mercury to the outside is prevented.
【課題】湿式排煙脱硫設備とCO2化学吸収設備を備えた排ガス処理システムにおいて、排ガス中の水銀による上記問題を解決し、金属水銀の外部への放出を防止した排ガス処理システムを提供することである。
EMISSION GAS PROCESSING SYSTEM WITH CARBON DIOXIDE CHEMICAL ABSORPTION DEVICE
二酸化炭素化学吸収設備を有する排ガス処理システム
EXHAUST GAS PROCESSING SYSTEM AND METHOD, SPRAY-DRYING DEVICE AND METHOD FOR DEHYDRATED FILTRATE FROM DESULFURIZATION WASTEWATER
排ガス処理システム及び方法、脱硫排水からの脱水濾液の噴霧乾燥装置及び方法
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Synoniemen voor gas processing system in het Engels

Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
nest: structure built by birds for laying eggs
Ontdek het woord
nest
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