On peut ainsi bénéficier d'un contrôle zonal durant le processus de CMP.
In this manner, zonal control is provided during the CMP process.
Une haute pureté est indispensable tout au long du processus de CMP.
High purity is very important throughout the entire CMP process.
Il contamine peu la mesa de l'appareil de CMP.
It has little contamination to the mesa of CMP apparatus.
La recherche-développement est un autre ingrédient de la recette gagnante de CMP.
Research and development is another ingredient in CMP's recipe for success.
Des systèmes variés de détection de fin de polissage peuvent aussi être intégrés dans l'outil de CMP.
Also various end point detection systems can be integrated in the CMP tool.
La machine classique de CMP consiste en un plateau rotatif recouvert d'un pad.
A typical CMP tool consists of a rotating platen, that is covered by a pad.
La présente invention vise à améliorer facilement la répartition de l'épaisseur de film après une étape de CMP.
The purpose of the present invention is to easily improve film thickness distribution after a CMP step.
Une étape de CMP est alors utilisée pour ôter le tungstène en surface, ne laissant ainsi que les trous de vias remplis.
A CMP process is then employed to remove the surface tungsten, leaving behind the filled contact holes.
Déployez vos assurez une mise sur le marché plus rapide grâce à l'expertise de CMP en conception et génie mécanique.
Bring your innovations to life... and to market faster with CMP's expertise in mechanical design.
L'espèce peut être sélectionnée dans un mode de réalisation pour accélérer ou décélérer le procédé de CMP.
The species may be selected in one embodiment to either accelerate or decelerate the CMP process.
Certaines compositions peuvent être utilisées avantageusement pour nettoyer le système de distribution de suspension de l'appareil de CMP.
Some compositions of the present invention are shown to be advantageously used for cleaning the slurry distribution system of CMP apparatus.
un outil de fabrication qui intègre un ou plusieurs postes d'électrodéposition et un appareil de CMP
a fabrication tool integrates one or more electrodeposition stations with a CMP apparatus
Pour l'importation des matières premières entrant dans la fabrication de biens d'exportation, une exonération de droits est accordée aux entreprises de CMP enregistrées.
Tariff exemption is accorded to registered CMP businesses on imports of raw materials for manufacturing exports.
