Le substrat est ensuite déplacé vers un deuxième outil d'implanteur.
The substrate is then moved to a second implanter tool.
La présente invention concerne des techniques de syntonisation d'uniformité dans un système d'implanteur ionique.
Techniques for uniformity tuning in an ion implanter system are disclosed.
alimentation d'implanteur ionique prévue pour une limitation de l'effet de charge
ion implanter power supply which is intended to limit the loading effect
procédé et dispositif pour améliorer l'efficacité du balayage dans un implanteur d'ions
apparatus and method for improved scanning efficiency in an ion implanter
un implanteur ionique comprenant une source de faisceau d'ions planaire. stationnaire
an ion implanter includes a source of a stationary. planar ion beam
La profondeur de pénétration des dopants dépend de l'accélération de l'implanteur d'ions.
The penetration depth of dopants depends on the acceleration in the ion implanter.
un implanteur d'ions comprenant une chambre de traitement et une couche de revêtement
an ion implanter includes a process chamber and a coating layer
procédé permettant de contrôler les performances d'un implanteur ionique utilisant des plaquettes réutilisables
method for monitoring the performance of an ion implanter using reusable wafers
Ce générateur de faisceau ionique peut s'utiliser dans le cadre d'un implanteur ionique.
The ion beam generator may be utilized in an ion implanter.
nettoyage in situ de faisceau définissant des ouvertures dans un implanteur ionique
in-situ cleaning of beam defining apertures in an ion implanter
procédés et appareils de réglage du parallélisme du faisceau dans un implanteur ionique
methods and apparatus for adjusting beam parallelism in ion implanters
système de transfert de pièces pour un implanteur de faisceau ionique
work piece transfer system for an ion beam implanter
l'invention concerne un sous-ensemble d'électrode amélioré destiné à un implanteur ionique
an improved electrode subassembly for an ion implanter is provided