d'un film isolant intercouche qui recouvre la ligne de câblage d'extraction
film protecteur, film isolant intercouche et épargne de soudage, entre autres
d'enlever de manière efficace un matériau organique ayant pénétré dans le film isolant intercouche
utilisable de manière appropriée dans la fabrication d'un film isolant intercouche ou d'une microlentille
caractérisée par le fait que la différence entre la quantité de film isolant intercouche poli
characterized in that the difference between the amount of interlayer insulating film polished
ensuite, un condensateur ferroélectrique, un second film isolant intercouche, etc., sont formés
thereafter, ferroelectric capacitor, second interlayer insulating film, etc. are formed
Procédé de fabrication d'un dispositif à semiconducteur, dans lequel les vides et les pores peuvent être éliminés d'un film isolant intercouche à une température de traitement thermique inférieure à celle de procédés traditionnels.
A process for fabricating a semiconductor device in which voids and pores can be eliminated from an interlayer insulating film at a lower heat treatment temperature than conventional methods.
étant au milieu, sont séparés l'un de l'autre au niveau de la périphérie du film isolant intercouche
therebetween are separated from each other at the periphery of the interlayer insulating film
polissant la couche barrière exposée de façon à explorer le film isolant intercouche au niveau des parties en saillie
polishing the exposed barrier layer so as to expose the interlayer insulating film at the protrudent portions
une ouverture de connexion formée dans le film isolant intercouche pour exposer le câblage inférieur à travers celle-ci
an connection opening formed in the interlayer insulating film for exposing the lower wiring therefrom
l'invention concerne également un dispositif de stockage magnétique comprenant un film isolant intercouche doté d'une couche de câblage
also disclosed is a magnetic storage device comprising an interlayer insulating film provided with a wiring layer
un film isolant intercouche qui est disposé sur le côté supérieur du substrat semi conducteur et a une surface supérieure lisse
an interlayer insulating film which is provided on the upper side of the semiconductor substrate and has a smooth upper surface
qui contient c, h et o en tant que constituants fondamentaux, à l'interface avec le second film isolant intercouche.
which contains c, h and o as the fundamental constituents, at the interface with the second interlayer insulating film.
