Les premières applications s'appuyaient fortement sur les technologies MEMS.
The first applications relied strongly on MEMS technologies.
La première s'attache à réduire la masse en concevant un nouveau capteur à l'échelle micrométrique avec des technologies MEMS.
First approach try to reduce the mass, a new sensor on a micrometric scale is built with MEMS technologies.
Cette large diffusion est principalement due au développement des technologies MEMS qui ont permis de réduire leur coût, leur taille et leur consommation.
This wide dissemination is mainly due to the development of MEMS technologies that have reduced their cost, size and consumption.
Les technologies MEMS ont connu un essor tout particulier depuis leurs débuts dans les années 1980.
MEMS technologies have flourished particularly since their beginning in the 1980's.
Ensuite, le développement d'une microsonde fabriquée à l'aide des technologies MEMS couplant une détection électrochimique et optique sera introduit dans le cadre du suivi du fluide interstitiel péri- et intratumoral de glioblastomes modifiés pour émettre de la fluorescence.
Then, the development of a microprobe fabricated using MEMS technologies combining electrochemical and optical detection will be introduced as part of the monitoring of peri- and intratumoral interstitial fluid from glioblastomes modified to fluoresce.
L'émergence de nouvelles technologies MEMS ainsi que de techniques reposant sur les couches minces et notamment la « spintronique », permettent d'envisager dans un avenir proche des capteurs beaucoup plus légers et moins encombrants.
The emergence of new MEMS technologies as well as techniques based on thin films, especially "spintronics", make it possible to envisage, in the near future, much lighter and less bulky sensors.
Les effets thermiques jouent également un rôle important dans la fabrication de nombreuses technologies MEMS avec des contraintes d'origine thermique dans les films minces déposés, ces films étant essentiels dans de nombreuses applications.
Thermal effects also play an important role in the manufacture of many commercial MEMS technologies with thermal stresses in deposited thin films that are critical for many applications.
Ce dispositif a ensuite été réalisé sur silicium à l'aide de technologies MEMS et de l'usinage laser femtoseconde.
This device has been fabricated on a silicon wafer using standard MEMS technologies and femtosecond LASER etching of the cantilevers.
En 2015, une architecture de micromachine Stirling triphasée pouvant être miniaturisée grâce aux technologies MEMS a été proposée et testée avec succès en macro-volume (avec une taille d'une vingtaine de centimètres).
In 2015, a three-phase Stirling micromachine architecture that can be miniaturized using MEMS technologies has been proposed and successfully tested in macro-volume (with a size of about twenty centimeters).
Intégrer ce type de matériaux dans des commutateurs radio-fréquence (MEMS-RF) pose de nouveaux chalenges en termes de maîtrise du matériau et de compatibilité avec les technologies MEMS existantes.
Incorporating such materials in switches radio-frequency (RF-MEMS) impose however new chalenges in terms of the compatibility with the existing MEMS technologies.
Micron d'Or pour une horloge atomique basée sur les technologies MEMS.
Micron d'Or for an atomic clock based on MEMS technologies.
Le présent travail de thèse a été consacré à la miniaturisation de ce nouveau concept de micromachine Stirling pour la récupération de chaleur entre 50 et 200ºC, en utilisant les technologies MEMS.
The present thesis work was devoted to the miniaturization of this new Stirling micromachine concept for heat recovery between 50 and 200ºC, using MEMS technologies.
Résumé : L'utilisation des technologies MEMS dans la navigation aéronautique présente deux difficultés majeures.D'une part, le bon fonctionnement des appareils de mesure de l'aviation civile requiert l'anticipation des défaillances susceptibles de se produire durant des décennies.
Abstract: The use of MEMS technologies in navigation measurements faces two main challenges.On the one hand, reliability improvement requires a deep understanding of MEMS failure mechanisms.
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