Vertaling van "APC-System" in Engels
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APC-System nach Anspruch 9, wobei der Moduldatenbildschirm einen Bereich zur Auswahl eines Wartungszählers umfasst.
The APC system as claimed in claim 9, wherein the module information screen comprises a maintenance counter selection portion.
APC-System nach Anspruch 1, wobei der Bildschirm zur Konfiguration von wenigstens einem Modul einen Bildschirm zur Modulpausenkonfiguration umfasst.
The APC system as claimed in claim 1, wherein the at least one module configuration screen comprises a module pause configuration screen.
APC-System nach Anspruch 1, wobei mehrere Bildschirme zur Systemkonfigurationen einen Bildschirm zur Werkzeugkonfiguration umfassen.
The APC system as claimed in claim 1, wherein the plurality of system configuration screens comprises a tool configuration screen.
APC-System nach Anspruch 16, wobei der Sensor-Auswahlbildschirm das Feld Werkzeugdaten, das Feld Modul-Identifikationsdaten und einen Sensorstatus-Auswahlbereich umfasst.
The APC system as claimed in claim 16, wherein the sensor selection screen comprises sensor type information field, tool information field, module ID information field, and a sensor status selection portion.
APC-System nach Anspruch 2, wobei der Bildschirm zur Werkzeugkonfiguration ein Feld Werkzeugbezeichnung, ein Feld IP-Adresse und einen Werkzeugstart-Auswahlbereich umfasst.
The APC system as claimed in claim 2, wherein the tool configuration screen comprises a tool name field, an IP address field, and a tool starts selection portion.
APC-System nach Anspruch 4, wobei der Bildschirm zur Fühlerkonfiguration einen Bereich umfasst, um einen OES-Fühler (OES = Optical Emission Spectra = Optisches Emissionsspektrum zu konfigurieren.
The APC system as claimed in claim 4, wherein the probe configuration screen comprises a portion to configure an Optical Emission' Spectra (OES) probe.
1 -3 Für das APC-System von Ken Uston wird ebenfalls eine Vielzahl von Werten verwendet, die den verschiedenen Gewichtungen einer jeden Karte zugeordnet werden.
1 -3 Ken Uston's APC system also uses an array of values to assign different weights to each card.
APC-System nach Anspruch 1, wobei das APC-System (145) ferner einen APC-Server (160) umfasst, der an das Halbleiterverarbeitungssystem (100) gekoppelt ist.
The APC system as claimed in claim 1, wherein the APC system (145) further comprises an APC server (160) coupled to the semiconductor processing system (100).
Das FabGuard APC-System bietet vor- und nachgeschaltete Kommunikation, so dass Meldungen vom APC-System ausgesandt bzw. von ihm empfangen werden können.
Integration Flexibility The FabGuard APC system provides upstream and downstream communication allowing messages to be set to and from the APC system.
