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diffusion out of
diffusion from
outdiffusion from
diffusion out from
Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet , daß das polykristalline Silizium (20) dotiert wird und das die erste leitende Schicht bildende Polysilizium (21) undotiert abgeschieden wird und durch Ausdiffusion aus dem unterliegenden polykristallinen Silizium (20) dotiert wird.
Method according to Claim 18, characterized in that the polycrystalline silicon (20) is doped and the polysilicon (21) forming the first conducting layer is deposited undoped, and is doped by diffusion out of the polycrystalline silicon (20) lying underneath.
Das Diffusionsgebiet (110) wird durch Ausdiffusion aus der dotierten Schicht (11) gebildet, wobei die strukturierte Diffusionsbarriereschicht (6) als Maske wirkt.
The diffusion region (110) is formed by diffusion from the doped layer (11) with the structured diffusion barrier layer (6) acting as the mask.
Das Basisrandgebiet (61) wird insbesondere durch Ausdiffusion aus darüber angeordneten Bor-Silikat-Glas-Spacern (8) hergestellt.
This base edge region (61) is preferably produced by diffusion from boron silicate glass spacers (8) located above it.
Dem Graben benachbart ist ein erstes dotiertes Gebiet (8), das insbesondere durch Ausdiffusion aus einer an der Grabenwand des Grabens (4) angeordneten dotierten Schicht gebildet wird, angeordnet.
A first doped region (8) contiguous to the pit is formed in particular by diffusion out of a doped layer on the wall of the pit (4).
Source-Gebiet (13) und Drain-Gebiet (14) werden insbesondere durch Ausdiffusion aus einer dotierten Glasschicht (12) gebildet.
Source region (13) and drain region (14) are formed, in particular, by outdiffusion from a doped glass layer (12).
Durch Ausdiffusion aus der dotierten Siliziumstruktur werden dem Graben benachbarte Diffusionsgebiete (11) und durch Aufoxidation der dotierten Siliziumstruktur eine Isolationsstruktur (9) im Graben erzeugt.
By diffusion out from the doped silicon structure diffusion regions (11) neighbouring the trench are produced and an insulating structure (9) is produced in the trench by autoxidation of the doped silicon structure.
Durch Versehen der Seitenwände des Grabens mit einer Dotierstoff enthaltenden Belegungsschicht und Ausdiffusion aus der Belegungsschicht werden dem Graben benachbarte Diffusionsgebiete (8) erzeugt.
By providing the side walls of the trench with a dopant-containing cover layer and diffusion out from the cover layer, diffusion regions (8) neighbouring the trench are produced.
Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Aluminiumdiffusionsschicht (6) der Grundschicht (2) vorzugsweise durch Pulverpackzementieren oder Gasphasenabscheidung oder Ausdiffusion aus der Hochtemperaturlackschicht eingebracht wird.
A method according to claim 10, characterised in that the aluminium diffusion layer (6) of the base layer (2) is introduced preferably by powder-pack cementing or gas phase deposition or diffusing out from the high-temperature varnish layer.
Verfahren nach Anspruch 7, bei dem die Ausdiffusion aus der dotierten Siliziumschicht (8) so erfolgt, daß die dotierte Siliziumschicht gleichzeitig aufoxidiert wird.
Method according to Claim 7, in which the outdiffusion from the doped silicon layer (8) is carried out in such a way that the doped silicon layer is simultaneously oxidized.
METHODE DIE SAUERSTOFF - AUSDIFFUSION AUS BASRTIO3 HALTIGEN SCHICHTEN IN MIKROELEKTRONISCHEN ANORDNUNGEN ZU VERHINDERN
METHOD TO PREVENT OXYGEN OUT-DIFFUSION FROM BASRTIO3 CONTAINING MICRO-ELECTRONIC DEVICE
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