Vertaling van "CMP-Prozess" in Engels
We konden deze vermelding niet vinden. Er worden benaderende resultaten weergegeven. Controleer je spelling of stel voor deze term aan het woordenboek toe te voegen.
Eine hohe Reinheit ist im gesamten CMP-Prozess von großer Bedeutung.
High purity is very important throughout the entire CMP process.
Slurry und Reinstwasser können danach wieder dem CMP-Prozess zugeführt werden.
Slurry and pure water can then be fed back to the CMP process.
Dies ermöglicht die Strukturierung von Iridiumschichten mit Hilfe einer Oxidmaske und einem CMP-Prozess.
This enables the structuring of iridium layers with the aid of an oxide mask and a CMP process.
Daher liegt die Herausforderung darin, einen Werkstoff zu finden, der die gewünschten Eigenschaften aufweist, denn der CMP-Prozess erfordert Komponenten aus hoch qualifizierten Werkstoffen.
The challenge is to find a material with the desired characteristics, as the CMP process requires components made of highly qualified materials.
Verwendung einer Abgabevorrichtung gemäss einem der vorangehenden Ansprüche zum Abgeben von Suspensionen, insbesondere von Slurry, speziell in einem CMP-Prozess, oder zum Abgeben von Fotolack.
Use of a dispensing apparatus in accordance with any one of the preceding claims for the dispensing of suspensions, in particular of slurry, especially in a CMP process, or for the dispensing of photoresist.
Verfahren nach Anspruch 3, wobei der CMP-Prozeß während der gleichzeitigen Ausbildung des Kondensators und des mindestens einen leitenden Interconnects nur einmal durchgeführt wird.
The method of claim 3, wherein said CMP process is performed only once during simultaneous formation of said capacitor and said at least one conductive interconnect.
Das innerhalb des CMP-Prozesses verwendete Wasser-Slurry-Gemisch kann optimal gefiltert und damit wertvolles Slurry sowie Reinstwasser zurückgewonnen werden. Slurry und Wasser können danach wieder dem CMP-Prozess zugeführt werden.
The water-slurry mixture produced by the CMP process is recovered, separated and thoroughly filtered, so valuable slurry and ultrapure water can be can be reused safely and efficiently in the CMP process.
Verfahren nach Anspruch 7 oder 8, wobei das Abtragen in Schritt (d) durch Ätzen mit KOH oder durch einen CMP-Prozeß erfolgt.
Method according to Claim 7 or 8, wherein the erosion in step (d) is carried out by etching with KOH or by a CMP process.
VORRICHTUNG ZUR REINIGUNG VON WAFERN NACH DEM CMP-PROZESS
DEVICE FOR CLEANING WAFERS AFTER A CMP PROCESS
POLIERFLÜSSIGKEIT FÜR EINEN CMP-PROZESS UND POLIERVERFAHREN
POLISHING LIQUID FOR CMP PROCESS AND POLISHING METHOD
Der oben beschriebene CMP-Prozess, der eine Polierlösung (Schlämme) verwendet, führt eine Politur durch, während ein relativ weiches Poliertuch mit der Polierlösung (Schlämme), die eine große Anzahl von abrasiven Partikeln enthält, versorgt wird.
The above-described CMP process using a polishing solution (slurry) performs polishing while a relatively soft polishing cloth with the polishing solution (slurry) containing a large number of abrasive particles is supplied.
Im CMP-Prozess werden verschiedene Poliermittel eingesetzt, die auch die Handling-Komponenten stark beanspruchen.
The CMP process involves the use of different slurries which take a heavy toll also on the handling components used.
Im CMP-Prozess ist es außerdem notwendig, die Dicke über den gesamten Wafer im Bereich von wenigen Mikrometern zu überwachen, Rauheitsparameter zu erfüllen und die Ebenheit über den gesamten CMP-Bereich zu gewährleisten.
In the CMP process, it is also necessary to ensure that the thickness is observed over the entire wafer in the range of a few micrometers, roughness parameters are achieved and that the flatness over the entire CMP area is uniform.
