Examples with "Halbleitersensorbauteils" and their translation in Engels
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Ein Verfahren zum Bilden eines Halbleitersensorbauteils nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die leitende Schicht ein Polysilizium-Material umfasst, die erste Isolationsschicht Siliziumnitrid umfasst und der Schritt des selektiven Ätzens das Ätzen der Opferschicht unter Verwendung von flüssigem Wasserstofffluorid umfasst.
A method for forming a semiconductor sensor device in accordance with any preceding claim wherein the conductive layer comprises polysilicon material, the first isolation layer comprises silicon nitride and the selective etch step comprises etching the sacrificial layer using liquid hydrogen fluoride.
Verfahren zum Bilden eines Halbleitersensorbauteils nach Anspruch 5, 6 oder 7, wobei beim Schritt des selektiven Ätzens ein flüssiges Ätzmittel verwendet wird.
A method for forming a semiconductor sensor device in accordance with claim 1, 2 or 3 wherein the selective etching step uses a liquid etchant.
Verfahren zum Bilden eines Halbleitersensorbauteils nach Anspruch 5 oder 6, wobei das Verfahren weiter den Schritt des Bildens einer dritten Isolationsschicht unter der leitenden Schicht umfasst.
A method for forming a semiconductor sensor device in accordance with claim 5 or 6 wherein the method further comprises the step of forming a third isolation layer underneath the conductive layer.
Andere resultaten
HALBLEITERSENSORBAUTEIL MIT GESCHÜTZTEN ZULEITUNGEN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DESSELBEN
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Synoniemen voor Halbleitersensorbauteils in het Duits
