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semiconductor sensor device
Vertaling van "semiconductor sensor device" in Duits
Halbleitersensoreinrichtung
Halbleitersensorbauteils
A danger alarm (114) is described comprising a gas-sensitive semiconductor sensor device (115), an optical smoke detection device (118) and an evaluation unit (119).
Es wird ein Gefahrmelder (114) beschrieben, der eine gassensitive Halbleitersensoreinrichtung (115), eine optischen Rauchdetektionseinrichtung (118) und eine Auswerteeinheit (119) aufweist.
The evaluation unit is adapted to carry out an evaluation of a first output signal of the gas-sensitive semiconductor sensor device (115) and of a second output signal of the optical smoke detection device (118).
Die Auswerteeinheit ist eingerichtet, um eine Auswertung eines ersten Ausgangssignals der gassensitiven Halbleitersensoreinrichtung (115) und eines zweiten Ausgangssignals der optischen Rauchdetektionseinrichtung (118) durchzuführen.
The gas-sensitive semiconductor sensor device (115) can comprise a metal oxide semiconductor gas sensor and/or a gas-sensitive field effect transistor.
Die gassensitive Halbleitersensoreinrichtung (115) kann einen Metalloxidhalbleiter-Gassensor und/oder einen gassensitiven Feldeffekttransistor aufweisen.
A method for forming a semiconductor sensor device in accordance with any preceding claim wherein the conductive layer comprises polysilicon material, the first isolation layer comprises silicon nitride and the selective etch step comprises etching the sacrificial layer using liquid hydrogen fluoride.
Ein Verfahren zum Bilden eines Halbleitersensorbauteils nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die leitende Schicht ein Polysilizium-Material umfasst, die erste Isolationsschicht Siliziumnitrid umfasst und der Schritt des selektiven Ätzens das Ätzen der Opferschicht unter Verwendung von flüssigem Wasserstofffluorid umfasst.
A method for forming a semiconductor sensor device in accordance with claim 1, 2 or 3 wherein the selective etching step uses a liquid etchant.
Verfahren zum Bilden eines Halbleitersensorbauteils nach Anspruch 5, 6 oder 7, wobei beim Schritt des selektiven Ätzens ein flüssiges Ätzmittel verwendet wird.
According to the invention, the semiconductor sensor device (8) can also be integrated into other vehicle components.
Darüber hinaus ist auch eine Integration der Halbleiter-Sensoreinrichtung (8) in andere Fahrzeugkomponenten ohne weiteres möglich.
A method for forming a semiconductor sensor device in accordance with claim 5 or 6 wherein the method further comprises the step of forming a third isolation layer underneath the conductive layer.
Verfahren zum Bilden eines Halbleitersensorbauteils nach Anspruch 5 oder 6, wobei das Verfahren weiter den Schritt des Bildens einer dritten Isolationsschicht unter der leitenden Schicht umfasst.
Synoniemen voor semiconductor sensor device in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
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