Examples with "Neutralfolien" and their translation in Engels
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Das Verfahren umfaßt einen zweiteiligen Foliendiffusionsschritt zur Herstellung flacher und tiefer Dotierprofile unter Verwendung von Neutralfolien.
Said method comprises a two-part film diffusion stage for producing flat and deep doping profiles using neutral films.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Neutralfolien (3) eine geringe Konzentration eines Dotierstoffs (5) eines zweiten Leitfähigkeitstyps aufweisen.
Process according to one of the preceding claims, characterized in that the neutral films (3) have a low concentration of a dopant (5) of a second conductivity type.
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß beim Diffusionsschritt eine Vielzahl von Siliziumscheiben (1) in einem Stapel zusammen mit Diffusionsfolien (2) und Neutralfolien (3) angeordnet werden.
Process according to Claim 1, characterized in that, during the diffusion steps, a multiplicity of silicon wafers (1) are arranged in a stack together with diffusion films (2) and neutral films (3).
Andere resultaten
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Siliziumscheiben (1) nach dem Diffusionsschritt auf der den Neutralfolie (2) zugewandten Seite der Siliziumscheiben durch läppen und polieren nachbearbeitet werden.
Process according to one of the preceding claims, characterized in that, after the diffusion step, the silicon wafers (1) are post-processed by lapping and polishing on that side of the silicon wafers which faces the neutral film (2).
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