Vertaling van "Sputterns" in Engels
Es ist auch eine Funktion des Sputterns und die Möglichkeit der Trockenbügeln.
There is also a function of sputtering and the possibility of dry ironing without steam.
Verfahren und Vorrichtung zur Steigerung der Seitenwanderfassung während des Sputterns in einer Kammer mit induktiv gekoppeltem Plasma
A method and apparatus for enhancing sidewall coverage during sputtering in a chamber having an inductively coupled plasma
Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei der genannte Kontaktierungsschritt die Abscheidung des Trennmaterials auf das erste oder zweite Substrat mittels einer Technik, ausgewählt aus der Bedampfung, des Sputterns, der chemischen Dampfabscheidung und der Ionenstrahlabscheidung, umfaßt.
The method according to any of the preceding claims, wherein said contacting step comprises depositing the release material onto the first or second substrate by a technique selected from evaporation, sputtering, chemical vapor deposition, and ion beam deposition.
Verfahren zum Herstellen eines Aufzeichnungsmediums für optische Informationen nach Anspruch 42, wobei eine Sputter-Rate des reaktiven Sputterns mehr als 18 nm/Minute beträgt.
A method of producing an optical information recording medium according to claim 42, wherein a sputter rate of said reactive sputtering is more than 18 nm/minute.
Verfahren gemäß Anspruch 11 oder 12, bei dem das Erzeugen von Grenzflächenschichten mittels eines Temperns, eines Sputterns oder einer chemischen Gasphasenabscheidung erfolgt.
The method of claim 11 or 12, wherein generating interface layers is performed by means of tempering, sputtering or chemical gas phase deposition.
Verfahren nach Anspruch 3, wobei das Einführen der Verbindung während des Sputterns fortdauert, um die adsorbierte Menge der Verbindung konstant zu halten.
The method of claim 3, wherein the introduction of said compound is continued during sputtering to maintain the adsorbed quantity of the compound constant.
Verfahren nach Anspruch 1, welches den Schritt umfaßt, daß eine Sperrschicht über der isolierenden Schicht gebildet wird, die sich in die Öffnung hinein erstreckt, bevor der Schritt des Sputterns der ersten Aluminiumschicht ausgeführt wird.
The method of claim 1 comprising the step of forming a barrier layer over the insulating layer and extending into the opening before the step of sputtering the first aluminum layer.
Die Verstelleinrichtung ist über einen elektrischen Schaltkreis 32,33,34 ansteuerbar, der mit akustischen Sensoren 28a,28b zusammenwirkt, die auf die Erosionsgräben 36 ausgerichtet sind und die dort während des Sputterns erzeugten Ultraschallwellen registrieren.
The adjusting device can be controlled via an electrical circuit 32, 33, 34 which interacts with acoustic sensors 28a, 28b which are aligned on the erosion trenches 36 and record the ultrasound waves produced there during sputtering.
Verfahren nach Anspruch 3 oder Anspruch 4, wobei der Schritt des Sputterns in einer Kammer (70) durchgeführt wird, welche im Wesentlichen mit einem Edelgas gefüllt ist.
The method of claim 3 or claim 4 in which the sputtering step is carried out in a chamber (70) which is substantially filled with an inert gas.
Verfahren nach Anspruch 19 oder Anspruch 20, wobei die Bildung der höher- und schwächerleitenden Schichten (20, 22, 24) den Schritt des Sputterns umfaßt.
A process according to claim 19 or claim 20, wherein the formation of said higher and lower conducting layers (20, 22, 24) includes the step of sputtering.
Verfahren nach Anspruch 5, bei welchem der Schritt des Sputterns ausgeführt wird, nachdem die Prozessparameter in einer solchen Weise kontrolliert wurden, dass von einem Target (71) ein Nettofluss senkrecht zu dem ersten isolierenden Substrat (90) in einen Prozessraum strömt.
The method as set forth in claim 5, wherein the sputtering step is conducted after process parameters are controlled in such a way that a net flux from a target (71) flows perpendicularly to the first insulating substrate (90) in a process room.
Verfahren nach Anspruch 5, ferner umfassend den Schritt der Ausführung eines Prozesses der Bogenentladung oder des Plasma-Ätzens über dem ersten isolierenden Substrat (80; 90) vor dem Schritt des Sputterns.
The method as set forth in claim 5, further comprising the step of conducting an arc discharging or a plasma etching process over the first insulating substrate (80; 90) prior to the sputtering step.
Ein weiterer Vorteil des konfokalen Sputterns ist die geringere Targetgröße: Die um den Faktor 4 kleinere Targetfläche macht sich besonders bei teuren Targets (z. B. Au, Pt) in einem entsprechend günstigeren Preis für die Targets bemerkbar.
Another advantage of confocal sputtering is the smaller target size: The target surface area is smaller by a factor of 4 compared to normal sputtering counterpart, which is particularly attractive when using expensive targets (such as gold and platinum).
