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the laser interferometer
said laser interferometer
Belichtungsverfahren nach Anspruch 3 gekennzeichnet durch die Schritte Messen der Temperatur des Tisches () und Korrigieren der durch das Laserinterferometer () bestimmten Messungen entsprechend der gemessenen Temperatur des Tisches ().
An exposure method according to claim 3 including the steps of measuring the temperature of said stage (3), and correcting the measurements determined by said laser interferometer (14) in accordance with the measured temperature of said stage (3).
Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Laserinterferometer (4) hinsichtlich der Phase unterschiedliche Vibrationen zwischen einer Linse (3) des optischen Laserabtastsystems (5), das den Lichtstrahl ausstrahlt, und dem X-Y-Tisch (2) kompensiert.
A method as claimed in claim 1, characterized in that said laser interferometer (4) cancels vibrations different in phase between a lens (3) of the laser-scanning optical system (5) irradiating said light-beam and said X-Y table (2).
Gerät nach Anspruch 4 oder Anspruch 5, bei dem das Laserinterferometer (10) eine Zeeman-Laserlichtquelle (11) beinhaltet.
Apparatus according to claim 4 or claim 5, wherein said laser interferometer (10) includes a Zeeman laser light source (11).
Zu dieser Zeit war das Laserinterferometer das Hilfsmittel der Wahl, wenn es um die präzise Distanz- und sogar Winkelmessung ging.
At this point in time, the "go to" device for precision distances and even angularity measurement was the laser interferometer.
Ein Hammer schlägt auf das Holz, während das Laserinterferometer die Schwingungen direkt auf dem Brett misst.
A hammer hits lumber passing the Viscan while the laser interferometer measures the oscillation directly on the board.
In wenigen Tagen werden wir von Oberpfaffenhofen aus das Laserinterferometer einschalten und kurz darauf die Laserverbindung zwischen den Satelliten herstellen.
In a few days we will switch on the laser interferometer from Oberpfaffenhofen and soon after that establish the laser link between the two satellites.
Das Laserinterferometer zählt die Interferenzen von Laserlicht.
The laser interferometer counts the interference of laser light.
Das Laserinterferometer hat eine Armlänge von 600 Meter.
The laser interferometer device has an arm length of 600m.
Das Laserinterferometer fliegt als Technologie-Demonstrator auf der Satellitenmission mit und ist eine gemeinsame Entwicklung von JPL und AEI Hannover.
The laser interferometer is a technology demonstrator onboard the satellite mission. It is a joint development by JPL and AEI Hannover.
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Synoniemen voor das Laserinterferometer in het Duits
