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In this technique the pressure is converted into a force, which stretches a diaphragm and is measured by a piezo-resistive MEMS diaphragm sensor.
Bei diesem Verfahren wird der Druck in eine Kraft umgewandelt, welche eine Membrane dehnt und durch einen piezoresistiven MEMS-Membransensor gemessen werden.
A vacuum gauge as claimed in Claim 1, 2 or 3 in which the auxiliary pressure sensor (20) is a diaphragm sensor.
Vakuummessgerät nach Anspruch 1, 2 oder 3, wobei der Hilfsdruckfühler (20) ein Membranfühler ist.
The compact differential pressure probe with flow or diaphragm sensor technology Learn More
Der kompakte Differenzdruck Fühler mit Flow oder Membran Sensor Technologie. Erfahren Sie mehr
The Spot CDS500D suspended ceramic capacitance diaphragm sensor is designed for integration into the limited space in your specific vacuum instruments and systems.
Der suspendierte keramisch-beschichtete Spot CDS500D-Kapazitätsmembransensor ist zur Integration in den beschränkten Bauraum Ihres spezifischen Vakuumgeräts oder -systems ausgelegt.
VACUU·VIEW Chemically resistant ceramic diaphragm sensor for measurement in the rough vacuum range.
VACUU·VIEW Mit chemiebeständigem KeramikMembran-Sensor für die Messung im Grobvakuumbereich.
HT19 Oil Filled Diaphragm Sensor Description HT19 Oil Filled Diaphragm Sensor the main component is a high stability diffuse silicon sensing element the sensing package utilizes silicon oil to transfer pressure from the 316L stainless steel...
HT19 Ölgefüllter Membransensor Beschreibung HT19 Öl gefüllte Membran Sensor, die Hauptkomponente ist eine hohe Stabilität diffuse Silizium Sensorelement. Das Sensorpaket verwendet Silikonöl, um den Druck von der 316L-Edelstahlmembran auf das...
With its robust, chemically resistant capacitive ceramic diaphragm sensor, this provides excellent measurement and control accuracy for industrial applications.
Mit dem chemiebeständigen Keramik-Membransensor wird eine hervorragende Mess- und Regelgenauigkeit für industrielle Anwendungen erreicht.
Highest precision and chemical resistance in the range from atmosphere down to 0.1 mbar perfect gauge for all rough vacuum applications VACUU·VIEW extended The heavy duty combination of ceramic diaphragm sensor and ceramic jacketed Pirani sensor ensures reliable readings in the wide range from atmosphere down to 10-3 mbar.
Nach dem kapazitiven Messprinzip wird der anliegende Absolutdruck gasartunabhängig erfasst. höchste Präzision und chemische Beständigkeit im Messbereich von KeramikMembransensor und keramikummanteltem PiraniSensor ermöglicht zuverlässige Vakuummessungen im gesamten Messbereich von Atmosphärendruck bis 10-3 mbar.
The model with integrated diaphragm sensor is possible left or right. Diaphragm rupture signalisation
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