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HT19 Ölgefüllter Membransensor Beschreibung HT19 Öl gefüllte Membran Sensor, die Hauptkomponente ist eine hohe Stabilität diffuse Silizium Sensorelement. Das Sensorpaket verwendet Silikonöl, um den Druck von der 316L-Edelstahlmembran auf das...
HT19 Oil Filled Diaphragm Sensor Description HT19 Oil Filled Diaphragm Sensor the main component is a high stability diffuse silicon sensing element the sensing package utilizes silicon oil to transfer pressure from the 316L stainless steel...
Mit der vorliegenden Erfindung wird die Möglichkeit beschrieben, die Membran bei einem mikromechanischen Membransensor eigenständig zu testen.
The invention allows an autonomous test of the membrane of a micromechanical membrane sensor.
THERMISCHER MEMBRANSENSOR UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
THERMAL MEMBRANE SENSOR AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
MEMBRANSENSOR MIT EINER VERSTÄRKUNGSSCHICHT IM RANDBEREICH DER MEMBRAN
MEMBRANE SENSOR COMPRISING A REINFORCING LAYER IN THE EDGE AREA OF THE MEMBRANE
MIKROMECHANISCHER MEMBRANSENSOR MIT VERRINGERTER STREUKAPAZITÄT UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN
MICROMECHANICAL MEMBRANE SENSOR WITH REDUCED STRAY CAPACITANCE AND CORRESPONDING PRODUCTION METHOD
Dabei ist vorgesehen, dass der mikromechanische Membransensor wenigstens eine erste Membran und eine im Wesentlichen über der ersten Membran liegende zweite Membran aufweist.
According to the invention, the micromechanical membrane sensor comprises at least one first membrane and a second membrane arranged essentially above the first membrane.
Zwei Sensoren in einem Gehäuse (Pirani und kapazitiver Membransensor)
Two sensors in one gauge head (Pirani and capacitance diaphragm)
Das mit einem Membransensor für Differenzdruckmessung ausgestattete Reinraum Panel ist ein Gerät höchster Qualität.
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