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Diffusionsschritt
A method according to claim 5, wherein said element that is capable of controlling said conductive type is B. A method according to any preceding claim, wherein said diffusing step is performed by thermally diffusing said element in the silicon substrate (100).
Verfahren nach Anspruch 5, worin das Element, das in der Lage ist, diesen leitenden Typ zu kontrollieren, B ist. Verfahren nach irgendeinem der vorhergehenden Ansprüche, worin der Diffusionsschritt mittels thermischer Diffusion des Elements in dem Siliciumsubstrat (100) durchgeführt wird.
A method as in claim 1, wherein said diffusing step comprises heating said semiconductor layers in the MOVPE reactor during said flowing of a magnesium-containing vapour.
Verfahren nach Anspruch 1, in dem der Diffusionsschritt das Erwärmen der Halbleiterschichten im MOVPE-Reaktor während der Überflutung mit einem magnesiumhaltigen Gas umfaßt.
The method of any one of claims 1 to 3, wherein the diffusing step comprises passing the light through an optically transmissive material containing a dispersion of non-absorptive light-scattering particles.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, worin die Diffusionsstufe das Durchführen des Lichts durch ein optisch durchlässiges Material, das eine Dispersion nicht-absorptiver lichtstreuender Teilchen enthält, umfasst.
Method according to one of claims 8 through 10, characterized in that said injecting and diffusing step includes a step of diffusing an impurity of the second conductivity type (p) to a depth substantially equal to a diffusion depth of said base regions (3).
Verfahren nach einem der Patentansprüche 8 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Schritte zum Injizieren und Diffundieren einen Schritt zum Diffundieren einer Verunreinigung vom zweiten Leitungstyp (p) bis zu einer Tiefe aufweisen, die im wesentlichen einer Diffusionstiefe der Basisgebiete (3) entspricht.
A method according to claim 3 wherein said error diffusing step includes applying a three-weight error diffusion filter.
Ein Verfahren gemäß Anspruch 3, bei dem der Schritt des Fehlerdiffundierendes das Anwenden eines Drei-Gewichtungs-Fehlerdiffusionsfilters aufweist.
A method according to any of claims 22 to 24, when dependent on any of claims 2 to 4, wherein the diffusing step comprises causing the dye(s) to diffuse through one layer so as at least to mark an adjacent layer.
Verfahren nach einem der Ansprüche 22 bis 24, zurückbezogen auf einen der Ansprüche 2 bis 4, bei dem das Eindiffundieren des Farbstoffs oder der Farbstoffe durch eine Schicht hindurch erfolgt, so daß wenigstens eine benachbarte Schicht markiert wird.
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