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grating parameters
Vertaling van "grating parameters" in Duits
Said method determines respective optimum grating parameters, on numeric, iterative paths, for a specific problem definition.
Das erfindungsgemäße Verfahren ermittelt dabei auf numerischem, iterativem Wege für eine spezielle Aufgabenstellung jeweils optimale Gitterparameter.
An apparatus according to any one of the preceding claims, wherein the grating parameters are optimized for two different wavelengths of the projection beam.
Eine Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Gitterparameter für zwei unterschiedliche Wellenlängen des Projektionsstrahls optimiert sind.
An interferometer according to claim 7, characterized in that the component gratings (96a, 96b; 97a, 97b) have identical grating parameters.
Interferometer nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilgitter (96a, 96b; 97a, 97b) identische Gitterparameter aufweisen.
An interferometer according to claim 1, characterized in that the phase grating is realised as a grating element (95) which consists of two mutually parallel phase gratings (95a, 95b) with identical grating parameters.
Interferometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Phasengitter durch ein Gitterelement (95) realisiert ist, welches aus zwei zueinander parallel angeordneten Phasengittern (95a, 95b) mit identischen Gitterparametern besteht.
An apparatus as claimed in Claim 1, characterized in that the grating parameters determining the intensity distribution over the different diffraction orders are chosen to be such that a maximum percentage of the incident radiation intensity is comprised in the selected diffraction order.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die die Intensitätsverteilung über die verschiedenen Beugungsordnungen bestimmenden Gitterparameter so gewählt sind, daß ein maximaler Prozentsatz der einfallenden Strahlungsstärke in der gewählten Beugungsordnung enthalten ist.
Length or angle measuring device according to Claim 13, characterised in that the first grating is constructed as a splitting grating (32a) and the third grating is constructed as a uniting grating (32b), and that they have different grating parameters.
Längen- oder Winkelmeßeinrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Gitter als Aufspaltgitter (32a) und das dritte Gitter als Vereinigungsgitter (32b) ausgebildet ist und daß sie unterschiedliche Gitterparameter aufweisen.
Length or angle measuring device according to Claim 1, characterised in that the grating parameters of the scanning grating (3; 32b; 33) vary such that phase-shifted signals may be generated.
Längen- oder Winkelmeßeinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gitterparameter des Abtastgitters (3; 32b; 33) so variieren, daß phasenverschobene Signale erzeugbar sind.
By means of DBR-RWL, specific grating parameters such as grating length and etching depth are investigated in this work as well.
Anhand von DBR-RWL werden in dieser Arbeit auch spezifische Gitterparameter wie Gitterlänge und Ätztiefe untersucht.
METHOD FOR DETERMINING OPTIMUM GRATING PARAMETERS FOR PRODUCING A DIFFRACTION GRATING FOR A VUV SPECTROMETER
VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG OPTIMALER GITTERPARAMETER FÜR DIE HERSTELLUNG EINES BEUGUNGSGITTERS FÜR EIN VUV SPEKTROMETER
Heavy gratings can be use in storage yards, in the production halls and warehouses, seaports and airports. Grating parameters
Gitterroste sind auch als Schwerlastroste zur Anwendung auf Lagerplätzen, in Produktionshallen und in Lagerräumen, in Häfen und in Flughäfen besonders geeignet.
A process according to claim 1 or claim 2 characterised in that at least two relief structures (6) which differ in respect of the grating parameters are shaped in the lacquer layer (1).
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens zwei, sich in den Gitterparametern unterscheidende Reliefstrukturen (6) in die Lackschicht (1) abgeformt wird.
On the one hand, an iterative approach, that uses an extension of the RCWA for a fast computation of the derivatives of the diffraction efficiency respect to the grating parameters, is being considered.
Es wird zum einen ein iteratives Lösungsverfahren, das eine Erweiterung der RCWA ausnutzt, um die Ableitungen der Beugungseffizienz nach den Gitterparametern schneller zu berechnen, betrachtet.
Synoniemen voor grating parameters in het Engels
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