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interferometer system
Vertaling van "interferometer system" in Duits
Very flexible interferometer system for production, workshop and laboratory
Sehr flexibles Interferometersystem für Fertigung, Werkstatt und Labor
An interferometer system as claimed in any one of the preceding claims, characterized in that, in addition to the Z measuring axis, the system comprises at least five further measuring axes.
Ein Interferometersystem nach einem der vorherigen Ansprüche, dadurch ausgezeichnet, dass das System zusätzlich zur Z-Messsachse wenigstens fünf weitere Messachsen aufweist.
System and method for determining the position or/and the orientation of two objects relative to each other, as well as beam guidance device, interferometer system and device for modifying the optical pathlength for use in such a system and method
System und Verfahren zum Bestimmen einer Position oder/und Orientierung zweier Objekte relativ zueinander sowie Strahlführungsanordnung, Interferometeranordnung und Vorrichtung zum Ändern einer optischen Weglänge zum Einsatz in einem solchen System und Verfahren
Interferometer system according to any of the preceding claims, characterized by means for the exchange of the gaseous medium in the etalon or etalons (41, 41').
Interferometeranordnung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß eine Einrichtung zum Austausch des gasförmigen Mediums im Etalon bzw. den Etalonen (41 bzw. 41') vorgesehen ist.
An interferometer system according to claim 1, characterized in that the amplitude modulation is on/off modulation serving to pulse the operation of the light source (101).
Interferometrisches System nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Amplitudenmodulation eine Ein-Aus-Modulation ist, die den Impulsbetrieb der Lichtquelle (101) ermöglicht.
INTERFEROMETER SYSTEM WITH TWO WAVELENGTHS, AND LITHOGRAPHIC APPARATUS PROVIDED WITH SUCH A SYSTEM
INTERFEROMETRISCHES SYSTEM MIT ZWEI WELLENLÄNGEN, UND LITHOGRAPHISCHES APPARAT VERSEHEN MIT SO EINEM SYSTEM
A gas refractometer according to any preceding claims characterised in that the optical path lengths of the beam parts passing through the interferometer system include the same lengths of solid medium.
Gasrefraktometer nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die optischen Weglängen der Strahlteile, die durch das Interferometersystem verlaufen, die gleichen Längen von Festmedium umfassen.
Further, the interferometer system in particular provides a detection beam path of the light returned by the object detection radiation.
Ferner stellt das Interferometersystem insbesondere einen Detektionsstrahlengang für die von dem Objekt zurückgeworfene Detektionsstrahlung bereit.
A scanning type exposure apparatus according to claim 1, wherein the first and second measuring device comprises an interferometer system.
Abtastbelichtungsvorrichtung nach Anspruch 1, worin die erste und zweite Messeinrichtung ein Interferometersystem umfassen.
A heterodyne interferometer system in accordance with any one of claims 1 to 8, wherein said laser comprises a diode laser.
Heterodynes Interferometersystem nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Laser ein Diodenlaser ist.
A positioning device as claimed in claim 3, characterized in that the recording device (7) consists of a multi-headed interferometer system.
Positioniervorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufzeichnungsvorrichtung (7) aus einem mehrköpfigen Interferometersystem besteht.
A lithographic apparatus as claimed in any one of claims 1 to 13, characterized in that the radiation source in each interferometer system is a laser source supplying two beam components having different frequencies and mutually perpendicular directions of polarization.
Lithographisches Projektionsgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsquelle in jedem Interferometersystem eine Laserquelle ist, die zwei Strahlkomponenten mit verschiedenen Frequenzen und wechselseitig senkrechten Polarisationsrichtungen liefert.
Wavelength compensation in an interferometer system.
Wellenlängenkompensation in einem Interferometersystem.
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Synoniemen voor interferometer system in het Engels
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