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Membransensor
Membransensoreinheit
The invention allows an autonomous test of the membrane of a micromechanical membrane sensor.
Mit der vorliegenden Erfindung wird die Möglichkeit beschrieben, die Membran bei einem mikromechanischen Membransensor eigenständig zu testen.
According to the invention, the micromechanical membrane sensor comprises at least one first membrane and a second membrane arranged essentially above the first membrane.
Dabei ist vorgesehen, dass der mikromechanische Membransensor wenigstens eine erste Membran und eine im Wesentlichen über der ersten Membran liegende zweite Membran aufweist.
Process for obtaining a multifunctional, ion-selective membrane sensor.
Verfahren zur Herstellung eines mehrfachen, ionenselektiven Membransensors.
THERMAL MEMBRANE SENSOR AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF
THERMISCHER MEMBRANSENSOR UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
MEMBRANE SENSOR COMPRISING A REINFORCING LAYER IN THE EDGE AREA OF THE MEMBRANE
MEMBRANSENSOR MIT EINER VERSTÄRKUNGSSCHICHT IM RANDBEREICH DER MEMBRAN
MICROMECHANICAL MEMBRANE SENSOR WITH REDUCED STRAY CAPACITANCE AND CORRESPONDING PRODUCTION METHOD
MIKROMECHANISCHER MEMBRANSENSOR MIT VERRINGERTER STREUKAPAZITÄT UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN
The invention relates to a method for producing a membrane sensor, especially a thermal membrane sensor, over a silicon substrate (1).
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Membransensors über einem Siliziumsubstrat (1) insbesondere eines thermischen Membransensors.
Please find here our latest membrane sensor product overview.
In-situ measurement and chemical sampling of gases in deep drill holes using a gas membrane sensor system
In-Situ-Messung und chemische Beprobung von Gasen in tiefen Bohrlöchern mit Hilfe eines Gas Membran Sensor Systems
Also disclosed is a membrane sensor unit whose layer structure is provided with a germanium layer and/or a germanium-containing layer.
Außerdem wird eine Membransensoreinheit vorgeschlagen, in deren Schichtaufbau eine Germanium- und/oder germaniumhaltige Schicht vorgesehen ist.
The gas membrane sensor system is generally suitable for the detection of gases like hydrogen, helium, methane, nitrogen, oxygen, krypton and carbon dioxide and volatile organic compounds.
Das Gas Membran Sensor System ist generell für die Erfassung von Gasen, wie Wasserstoff, Helium, Methan, Stickstoff, Sauerstoff, Krypton und Kohlendioxid und flüchtigen organischen Stoffen geeignet.
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