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The main goal has been the formation of a Ni-depleted surface, which should serve as a barrier to out-diffusion of Ni ions from the bulk material.
Hauptziel ist deswegen die Bildung einer Ni freien Oberfläche, die als Barriere gegen die Ausdiffusion von Ni aus dem Substratmaterial dienen soll.
In this way, out-diffusion of a component of the compound semiconductor is suppressed and the wafer may be processed without damage.
Auf diese Weise wird ein Ausdiffundieren einer Komponente des Verbindungshalbleiters unterdrückt und der Wafer kann schadensfrei prozessiert werden.
A process according to claim 14 or 15, wherein the permeability of the capsule is controlled to allow selective diffusion of nucleic acid amplification reaction starting materials into the capsules but restrict the out-diffusion of nucleic acid amplification reaction products and/or templates and/or primers.
Verfahren nach Anspruch 14 oder 15, wobei die Permeabilität der Kapsel so reguliert wird, dass selektive Diffusion von Reaktionsausgangsmaterialien zur Amplifizierung von Nukleinsäure in die Kapseln möglich ist, allerdings das Herausdiffundieren von Reaktionsprodukten bei der Amplifizierung von Nukleinsäure und/oder von Templaten und/oder von Primern beschränkt ist.
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