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out-diffusion of
Unterdrückte Ausdiffusion von Metallverunreinigungen.
Hauptziel ist deswegen die Bildung einer Ni freien Oberfläche, die als Barriere gegen die Ausdiffusion von Ni aus dem Substratmaterial dienen soll.
The main goal has been the formation of a Ni-depleted surface, which should serve as a barrier to out-diffusion of Ni ions from the bulk material.
Herstellungsverfahren einer Halbleitervorrichtung zur Verhinderung die Ausdiffusion von Kohlenstoff aus einer Halbleiterscheibe
Semiconductor device fabrication methods for inhibiting carbon out-diffusion from the semiconductor wafer
Weitere Vorteile bestehen darin, dass Fehlfunktionen des Sensors wie beispielsweise die Blockade des optischen Weges, Ausdiffusion von Referenzgas oder ähnliches sicher erkennbar sind.
Other advantages are that a malfunction of the sensor such as the blockade of the optical path, diffusion of reference gas or the like safely identifiable.
Verfahren zur Hemmung von Ausdiffusion von Dotierstoffen.
Zum Anschluss an den Auslesetransistor wird durch Ausdiffusion von Dotierstoffen aus der Elektrode des Speicherkondensators (2) ein Buried Strap Kontakt (11) erzeugt.
A buried strap contact (11) for connection to the read-out transistor is produced by diffusing dopants out of the electrode of the memory capacitor (2).
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei die thermische Oxidation so gesteuert ist, dass eine Ausdiffusion von 100 nm in die Silizium-Bauelemente-Schichtbereiche (42) stattfindet.
The method of any of claims 1 to 7, wherein said thermal oxidizing step is controlled to provide an outdiffusion of 100 nm into said silicon device layer portions (42).
Dies erfolgt durch Ausdiffusion von Ladungsträgern aus einer Dotierstoffquellschicht (DQS), die im Bereich der extrinsischen Basis unterhalb der epitaktisch aufgewachsenen Basisschicht angeordnet wird.
This is achieved by the diffusion of charge carriers from a dopant source layer (DQS), which is situated in the region of the extrinsic base below the epitaxially grown base layer.
IONENIMPLANTATION VON EINEM SILIZIUMOXIDSCHICHT UM DIE AUSDIFFUSION VON DOTIERSTOFFEN AUS DEN SOURCE- UND DRAIN-AUSDEHNUNGEN ZU HEMMEN
ION IMPLANTATION OF SILICON OXIDE LINER TO PREVENT DOPANT OUT-DIFFUSION FROM SOURCE/DRAIN EXTENSIONS
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