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patterning of said
Vertaling van "patterning of said" in Duits
Mustern des
A process according to any one of claims 25-28 comprising patterning of said electrochromic element using a subtractive method.
Verfahren nach einem der Ansprüche 25-28, umfassend ein Mustern des elektrochromen Elements unter Verwendung eines subtraktiven Verfahrens.
A method according to claim 3, wherein the total exposure amount in the flash exposure of the patterned positive photoresist containing naphthoquinone diazide derivative is equal to or larger than the exposure amount employed in the patterning of said photoresist.
Verfahren nach Anspruch 3, in dem die gesamte Belichtungsmenge bei der Belichtung des gemusterten positiven Photoresists, das das Naphthochinondiazidderivat enthält, mit Blitzlicht gleich oder größer als die Belichtungsmenge ist, die beim Mustern des Photoresists angewandt wird.
A method comprising the patterning of said films of a photomask blank according to any one of claims 1 to 8 to make a photomask.
Verfahren, umfassend das Strukturieren der Filme eines Photomaskenrohlings nach einem der Ansprüche 1 bis 8, um eine Photomaske zu erzeugen.
A process for preparing an X-ray mask structure according to any one of claims 1 to 8, wherein the steps for patterning of said X-ray absorptive member comprise
Verfahren zum Herstellen einer Röntgenstrahlmaskenstruktur nach einem der Ansprüche 1 bis 8, bei dem die Schritte der Musterbildung des Röntgenstrahlen absorbierenden Elements umfassen
A method of manufacturing an IC or ULSI semiconductor device having a patterned structure defined by X-ray lithography, wherein the patterning of said structure by X-ray lithography includes performing an X-ray proximity exposure by a process as claimed in any preceding claim.
Verfahren zur Herstellung einer IC- oder ULSI-Halbleitervorrichtung mit einem durch Röntgenstrahllithographie strukturierten Muster, wobei die Strukturierung des Musters durch Röntgenstrahllithographie die Durchführung einer Proximity-Belichtung mit Röntgenstrahlen durch ein Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche umfaßt.
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Synoniemen voor patterning of said in het Engels
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