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Through the use of spatial light modulators, new efficient light exposure devices can be developed for the semiconductor industry.
Mittels Flächenlichtmodulatoren lassen sich hier neue effiziente Belichtungsmaschinen für die Halbleiterindustrie entwickeln.
by Rieck, Andreas Abstract (Summary) A planarization technology for high resolution spatial light modulators with chemical mechanical polishing was developed in this work.
Entwicklung einer Planarisierungstechnologie einschließlich Chemisch Mechanischen Polierens zur Fertigung hochauflösender FlächenlichtmoduInhalt dieser Arbeit war die Entwicklung einer Planarisierungstechnologie für hochauflösende Flächenlichtmodulatoren mit Hilfe des Chemisch-Mechanischen Polierens (CMP).
Combined modulator schemes for spatial light modulators.
Schemata mit kombinierten Modulatoren für räumliche Lichtmodulatoren.
Gray scale printing using spatial light modulators.
Graustufendruck mit Verwendung von räumlichen Lichtmodulatoren.
Improvements in or relating to the characterisation of visual artifacts in spatial light modulators
Verbesserungen an oder im Zusammenhang mit der Kennzeichnung der Artefakten in einem räumlichen Lichtmodulator
Near bandgap radiation modulation spatial light modulators.
Räumlicher Lichtmodulator mit Strahlungsmodulation nahe der Bandlücke.
Formatting and storing data for display systems using spatial light modulators
Formatierung und Speicherung von Daten für Anzeigesysteme mit einem räumlichen Lichtmodulator
Display device having an array of spatial light modulators with integrated color filters
Anzeigevorrichtung aus einem Array optischer Modulatoren mit integrierten Farbfiltern
Color illumination system for spatial light modulators using multiple double telecentric relays
Farbbeleuchtungsystem für räumliche Lichtmodulatoren mit Verwendung mehrerer doppelt telezentrischer Übertragungssysteme
A neural network comprising a light emitting element and a plurality of spatial light modulators according to any preceding claim.
Neuronales Netz mit einem lichtaussendenden Element und einer Vielzahl räumlicher Lichtmodulatoren nach irgendeinem vorangehenden Anspruch.
Method and apparatus for printing high resolution images using multiple reflective spatial light modulators
Verfahren und Vorrichtung zum Drucken von Bildern mit hoher Auflösung mit vielfach reflektierenden räumlichen Lichtmodulatoren
Load/reset control method for spatial light modulators
Verfahren zum Steuern der Laden/Rückstellung-Sequenz für räumlichen Lichtmodulatoren
System and method for producing gray scaling using multiple spatial light modulators in a maskless lithography system
System und Methode zur Herstellung von Graustufen durch die Verwendung von räumlichen Lichtmodulatoren in einem maskenlosen Lithographiesystem
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