Vertaling van "sub-patterns" in Duits
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A method according to any of the preceding claims wherein the first and second patterns comprise a plurality of repeating sub-patterns and wherein an average value of said characteristic over the extent of the pattern is utilized in correcting the registration.
Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, worin das erste und das zweite Muster eine Mehrzahl sich wiederholender Untermuster aufweist, und worin ein Durchschnittswert der Eigenschaft über die Ausdehnung des Musters beim Korrigieren der Registration verwendet wird.
A manufacturing method according to claim 6, characterized in that each of the dot patterns (51) of the first pattern is shaped like a circle and each of the sub-patterns (54) is shaped like a line extending outside the dot pattern.
Herstellungsverfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß jedes der Punktmuster (51) des ersten Musters wie ein Kreis und jedes der Untermuster (54) wie eine Linie, die sich außerhalb des Punktmusters erstreckt, geformt wird.
Apparatus according to claim 2, characterized in that it further comprises means for making the pattern to be compared in said preliminary phase the result of a summation of a plurality of sub-patterns if said number (m) is greater than or equal to 2.
Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß sie außerdem eine Einrichtung aufweist, um das in der Vorab-Phase zu vergleichende Muster zu dem Ergebnis einer Summierung mehrerer Untermuster zu machen, falls die Anzahl (m) größer oder gleich 2 ist.
A manufacturing method according to claim 8, whereby each of the arcuated sub-patterns (52) is divided into plural ones in a direction its extending direction.
Herstellungsverfahren nach Anspruch 8, wobei jedes der gewölbten Untermuster (52) in seiner Erstrekkungsrichtung in mehrere einzelne geteilt wird.
Patterns consists of literal strings and character classes. Patterns may contain sub-patterns, which are patterns enclosed in parentheses.
Muster bestehen aus Zeichenketten und Zeichenklassen. Muster können Untermuster enthalten, diese sind in Klammern eingeschlossene Muster.
Reticle having sub-patterns and a method of exposure using the same.
Maske mit Teilmustern und Belichtungsverfahren unter Verwendung derselben.
The method of claim 1, wherein said printing sub-patterns comprises using at least one of electron-beam lithography and imprint lithography.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Drucken von Teilmustern zumindest das Verwenden von Elektronenstrahl-Lithographie oder von Imprint-Lithografie umfasst.
The method of one of claims 1 to 8 wherein each of said N predetermined patterns of pixels is comprised of a plurality of one of N repeating sub-patterns, each said sub-pattern comprising N contiguous pixels.
Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, bei dem jedes der N vorgegebenen Muster von Bildpunkten aus einer Vielheit eines der N sich wiederholenden Unter-Muster besteht, wobei jedes Unter-Muster N benachbarte Bildpunkte umfaßt.
matchValue: whether the GET parameter values should match the corresponding sub-patterns in the rule when creating a URL.
TRANSFER OF A PATTERN WITH A HIGH STRUCTURAL DENSITY BY MULTIPLE EXPOSURE OF LESS DENSE SUB-PATTERNS
ÜBERTRAGUNG EINES MUSTERS HOHER STRUKTURDICHTE DURCH MULTIPLE BELICHTUNG WENIGER DICHTER TEILMUSTER
The apparatus of claim 23, including additional sub-patterns for further extending the longer pattern, said additional sub-patterns being derived from the existing base and second sub-pattern.
Vorrichtung nach Anspruch 23, mit zusätzlichen Submustern zur weiteren Verlängerung des längeren Musters, wobei die zusätzlichen Submuster vom existierenden Basisund vom zweiten Submuster abgeleitet sind.
If this property is set true, then the given parameter values must also match the corresponding parameter sub-patterns.
A semiconductor power module according to claim 1 or 2, wherein said second and third wiring sub-patterns both holding said power potentials for said control circuit (130) and at least partially surrounding said arrangement of said first wiring sub-pattern.
Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 1 oder 2, bei dem das zweite und dritte Verdrahtungsuntermuster beide die Leistungspotentiale für die Steuerschaltung (130) halten und mindestens teilweise die Anordnung des ersten Verdrahtungsuntermusters umgeben.