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the diffracting structure
Vertaling van "the diffracting structure" in Duits
die Diffraktionsstruktur
The method of claim 1, wherein said directing directs polarized radiation to the diffracting structure.
Verfahren nach Anspruch 1, wobei das Richten eine polarisierte Strahlung auf die Diffraktionsstruktur richtet.
Device according to claim 1, characterised in that the diffracting structure is an amplitude structure with absorbent and non-absorbent surface areas.
Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die beugende Struktur eine Amplitudenstruktur mit absorbierenden und nicht absorbierenden Flächenbereichen ist.
The apparatus of claim 37, wherein the polarized radiation provided by the focusing means has substantially the same polarisation as the beam directed at the diffracting structure.
Vorrichtung nach Anspruch 37, wobei die polarisierte Strahlung, die durch die Fokussierungseinrichtung bereitgestellt wird, im wesentlichen die gleiche Polarisation wie der Strahl aufweist, der auf die Diffraktionsstruktur gerichtet wird.
The apparatus of claim 32, further comprising a database including intensity data measured from other diffracting structures, and means for comparing the intensities detected to the data in the database for determining the one or more parameters of the diffracting structure.
Vorrichtung nach Anspruch 32, ferner umfassend eine Datenbank mit Intensitätsdaten, die von anderen Diffraktionsstrukturen gemessen sind, und eine Einrichtung zum Vergleichen der Intensitäten, die erfasst werden, mit den Daten in der Datenbank zum Bestimmen des einen oder der mehreren Parameter der Diffraktionsstruktur.
The apparatus of claim 15 or 16, wherein said directing means (22, 26, 28) directs said beam at an oblique angle to the diffracting structure.
Vorrichtung nach Anspruch 15 oder 16, wobei die Richtungseinrichtung (22, 26, 28) den Strahl bei einem schrägen Winkel auf die Diffraktionsstruktur richtet.
The apparatus of claim 20, functioning as a scatterometer, wherein the one or more parameters determined by the apparatus include shape of lines, linewidth, pitch, height and/or side wall angle of the diffracting structure.
Vorrichtung nach Anspruch 20, die als ein Streuungsmessgerät arbeitet, wobei der eine oder die mehreren Parameter, der/die von der Vorrichtung bestimmt wird/werden, die Form von Linien, die Linienbreite, den Abstand, die Höhe und/oder den Seitenwandwinkel der Diffraktionsstruktur einschließt/einschließen.
Device according to one of the preceding claims, the surface of the diffracting structure (2) having an oval edge (20) defining an aperture of the device.
Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Fläche der beugenden Struktur (2) einen eine Apertur der Einrichtung definierenden ovalen Rand (20) aufweist.
The apparatus as claimed in claim 1, wherein said collimating optical element has a diffracting structure on both an input (54) and an output side (53) for widening a pitch of the diffracting structure.
Die Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das kollimierende optische Element eine Beugungsstruktur sowohl auf einer Eingangs- (54) als auch an einer Ausgangsseite (53) zum Aufweiten einer Periode in der Beugungsstruktur aufweist.
The apparatus of claim 32, further comprising an analyser (32) that analyses radiation of the beam that has been diffracted by the diffracting structure to produce an output beam, wherein said detecting means (34) detects the output beam.
Vorrichtung nach Anspruch 32, ferner umfassend einen Analysator (32), der die Strahlung des Strahls, der durch die Diffraktionsstruktur eine Diffraktion durchlaufen hat, analysiert, um einen Ausgangsstrahl zu erzeugen, wobei die Erfassungseinrichtung (34) den Ausgangsstrahl erfasst.
By means of the diffracting structure (22), the light wave field (16) varied by the light modulator (12) can be diffracted in a variable and predeterminable manner.
Mit der Beugungsstruktur (22) ist das vom Lichtmodulator (12) veränderte Lichtwellenfeld (16) in vorgebbarer Weise veränderbar beugbar.
Synoniemen voor the diffracting structure in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
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