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Vibrationssensor
A vibrating sensor as claimed in any preceding claim, comprising a plurality of said elongate elements excited by different wavelengths of electromagnetic radiation.
Vibrationssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, enthaltend eine Vielzahl von länglichen Elementen, die durch unterschiedliche Wellenlängen von elektromagnetischer Strahlung angeregt werden.
A vibrating sensor as claimed in any preceding claim, in which the absorbing layer (19) absorbs electromagnetic radiation of a predetermined frequency preferentially to other frequencies.
Vibrationssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei welchem die absorbierende Schicht (19) elektromagnetische Strahlung einer bestimmten Frequenz absorbiert, die gegenüber anderen Frequenzen bevorzugt ist.
A vibrating sensor as claimed in any one of claims 1 to 4, in which the absorbing layer (19) has a characteristic such that it absorbs less with increasing wavelength of radiation.
Vibrationssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei welchem die absorbierende Schicht (19) eine solche Eigenschaft besitzt, daß sie mit steigender Wellenlänge der Strahlung weniger absorbiert.
A vibrating sensor as claimed in any one of claims 1 to 9, comprising a plurality of said elongate elements having different natural resonant frequencies of mechanical vibration, said elongate elements being excited by a common wavelength of electromagnetic radiation.
Vibrationssensor nach einem der Ansprüche 1 bis 9, enthaltend eine Vielzahl von länglichen Elementen, die verschiedene Eigenresonanzfrequenzen der mechanischen Schwingung besitzen, wobei die länglichen Elemente von einer gemeinsamen Wellenlänge von elektromagnetische Strahlung angeregt werden.
A vibrating sensor as claimed in any preceding claim, in which the means (15) for coupling electromagnetic radiation into said end (20) of the elongate element comprises an optical fibre having an end directed at said end (20) of the elongate element.
Vibrationssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei welchem die Einrichtung (15) zur Einkopplung elektromagnetischer Strahlung in das Ende (20) des länglichen Elementes eine optische Faser enthält, von der ein Ende auf das Ende (20) des länglichen Elementes gerichtet ist.
A vibrating sensor as claimed in any preceding claim, in which the elongate element comprises a beam which has been micromachined from a wafer of material.
Vibrationssensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei welchem das längliche Element einen Balken enthält, welcher durch Mikrobearbeitung aus einer Materialwafer hergestellt ist.
The camera has been equipped with a vibrating sensor compensating for camera shake.
Die Kamera ist mit einem vibrierenden Sensor ausgestattet, der Kameraverwacklungen kompensieren kann.
The vibrating sensor also shakes dust off from the lens.
Der vibrierende Sensor wird darüber hinaus verwendet, um Staub vom Sensor abzuschütteln.
DEVICE FOR MECHANICAL DECOUPLING FOR MONOLITHIC DIFFERENTIAL VIBRATING SENSOR
A vibrating sensor as claimed in claim 1, in which the elongate element (18) is arranged so that, as it alters configuration from its at-rest configuration, less of said electromagnetic radiation is coupled into said end (20) of the element.
Vibrationssensor nach Anspruch 1, bei welchem das längliche Element (18) so angeordnet ist, daß weniger elektromagnetische Strahlung in das Ende (20) des Elementes eingekoppelt wird, wenn es aus seiner Ruhestellung herauskommt.
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