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an alkaline developing solution
Vertaling van "an alkaline developing solution" in Frans
une solution de développement alcaline
developing said image-wise exposed precursor with an alkaline developing solution
développement dudit précurseur exposé sous forme d'image avec une solution de développement alcaline
and can improve resistance to corrosion by an amine-based peeling liquid and an alkaline developing solution used in a thin-film transistor production process
et peut améliorer la résistance à la corrosion par un liquide de décapage à base d'amine et une solution de développement alcaline utilisée dans un processus de production de transistor en couches minces
the process is characterized in that the developing solution is an alkaline developing solution containing no alkali silicate
le procédé est caractérisé par le fait que la solution de développement est une solution de développement alcaline ne contenant pas de silicate alcalin
repeating units having a structure in which a hydroxy group is protected by a group which inhibits dissolution in an alkaline developing solution and dissociates by the action of an acid,
des unités répétitives ayant une structure dans laquelle un groupe hydroxy est protégé par un groupe qui inhibe la dissolution dans une solution de développement alcaline et se dissocie par l'action d'un acide,
a polymer which has repeating units of a specific acetal structure having a leaving group having a cyclic structure therein and which decomposes by the action of an acid to come to have enhanced solubility in an alkaline developing solution, and
un polymère qui a des unités répétitives d'une structure d'acétal spécifique ayant un groupe partant renfermant une structure cyclique et qui se décompose par l'action d'un acide pour venir à avoir une solubilité améliorée dans une solution de développement alcaline, et
developing said image-wise exposed precursor with an alkaline developing solution comprising a compound having at least two onium groups
développer ledit précurseur exposé d'après l'image à l'aide d'une solution de développement alcaline comprenant un composé doté d'au moins deux groupes onium
developing said image-wise exposed precursor with an alkaline developing solution and comprising an antisludge agent, characterised in that said antisludge agent is a heteroaromatic compound comprising at least one thiol group
à développer ledit précurseur exposé dans le sens de l'image avec une solution de développement alcaline et comprenant un agent anti-dépôt, caractérisé en ce que ledit agent anti-dépôt est un composé hétéroaromatique comprenant au moins un groupe thiol
in addition, the polymer is dissolved at a desired rate in an alkaline developing solution and is highly stable without any significant change in dissolution rate (DR) during storage
de plus, le polymère est dissous à une vitesse souhaitée dans une solution de développement alcaline et est très stable sans aucun changement significatif dans la vitesse de dissolution pendant le stockage
In addition, the dissolution rate (DR) of the composition in an alkaline developing solution is maintained at a desired level during storage.
En outre, la vitesse de dissolution (DR) de la composition dans une solution de développement alcaline est maintenue à un niveau souhaité pendant le stockage.
[PROBLEMS] Disclosed is a composition for forming an antireflective film which is used in the lithography process in semiconductor device production and can be developed with an alkaline developing solution for photoresists.
L'invention concerne une composition de formation d'un film antiréfléchissant que l'on utilise dans le procédé de lithographie lors de la production d'une dispositif à semi-conducteurs et qui peut être mise au point avec une solution de mise au point alcaline pour des résines photosensibles.
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