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diffraction based
Vertaling van "diffraction based" in Frans
base de diffraction
basé sur la diffraction
basées sur la diffraction
basé sur diffraction
fonction de la diffraction
diffraction based overlay metrology tool and method
outil et procédé de métrologie de superposition à base de diffraction
an overlay error is determined using a diffraction based overlay target by generating a number of narrow band illumination beams that illuminate the overlay target
une erreur de superposition qui est déterminée à l'aide d'une cible de superposition à base de diffraction en produisant un certain nombre de faisceaux d'éclairage à bande étroite qui éclairent la cible de superposition
DIFFRACTION BASED OVERLAY LINEARITY TESTING
TEST DE LA LINÉARITÉ DE RECOUVREMENT BASÉ SUR LA DIFFRACTION
PARALLEL ACQUISITION OF SPECTRA FOR DIFFRACTION BASED OVERLAY
ACQUISITION PARALLÈLE DE SPECTRES POUR UN RECOUVREMENT BASÉ SUR LA DIFFRACTION
DIFFRACTION BASED BIOSENSOR CONTAINING TWO DIFFRACTIVE GRATINGS
BIOCAPTEUR À BASE DE DIFFRACTION CONTENANT DEUX RÉSEAUX DE DIFFRACTION
Total target area can be reduced without loss of performance in the diffraction based metrology.
Une surface cible totale peut être réduite sans pertes de performances dans la métrologie basée sur une diffraction.
Each diffraction based overlay pad has the same number of periodic patterns as the structure under test.
Chaque plage en chevauchement fonction de la diffraction possède le même nombre de motifs périodiques que la structure à tester.
Additionally, each diffraction based overlay pad includes a programmed shift between each pair of periodic patterns.
En outre, chaque plage en chevauchement fonction de la diffraction comprend un décalage programmé entre chaque paire de motifs périodiques.
An enhanced diffraction based biosensor system and method are provided for detecting an analyte of interest in a test medium.
L'invention concerne un système biocapteur à diffraction renforcée et un procédé associé qui permettent de détecter un analyte d'intérêt dans un milieu d'essai.
A plurality of overlay errors in a structure is determined using a target that includes a plurality of diffraction based overlay pads.
Selon l'invention, plusieurs erreurs de chevauchement dans une structure peuvent être déterminées en utilisant une cible comprenant plusieurs plages en chevauchement fonction de la diffraction.
A dark field diffraction based overlay metrology device illuminates an overlay target that has at least three pads for an axis, the three pads having different programmed offsets.
La présente invention porte sur un dispositif de métrologie de recouvrement basé sur diffraction en champ sombre qui éclaire une cible de recouvrement qui a au moins trois pièces pour un axe, les trois pièces ayant différents décalages programmés.
the present invention provides an analyzer useful in determining the presence of an analyte using a diffraction based sensing device and systems using this device
l'invention concerne un analyseur qui permet de détecter la présence d'un analyte à l'aide d'un dispositif de détection fondé sur la diffraction et de divers systèmes utilisant ce dispositif
The linearity of the overlay error is tested (206) using the same diffraction signals or a different set of diffraction signals from diffraction based alignment pads.
La linéarité de l'erreur de recouvrement est testée (206) au moyen des mêmes signaux de diffraction ou d'un ensemble différent de signaux de diffraction provenant des pastilles d'alignement basées sur la diffraction.
Synoniemen voor diffraction based in het Engels
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