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diffraction based overlay
Vertaling van "diffraction based overlay" in Frans
recouvrement basé sur la diffraction
recouvrement basé sur diffraction
chevauchement fonction de la diffraction
superposition à base de diffraction
Each diffraction based overlay pad has the same number of periodic patterns as the structure under test.
Chaque plage en chevauchement fonction de la diffraction possède le même nombre de motifs périodiques que la structure à tester.
diffraction based overlay metrology tool and method
outil et procédé de métrologie de superposition à base de diffraction
Additionally, each diffraction based overlay pad includes a programmed shift between each pair of periodic patterns.
En outre, chaque plage en chevauchement fonction de la diffraction comprend un décalage programmé entre chaque paire de motifs périodiques.
A plurality of overlay errors in a structure is determined using a target that includes a plurality of diffraction based overlay pads.
Selon l'invention, plusieurs erreurs de chevauchement dans une structure peuvent être déterminées en utilisant une cible comprenant plusieurs plages en chevauchement fonction de la diffraction.
Each metrology target area comprises a plurality of individual grating portions, which are used for diffraction based overlay measurements or other diffraction based measurements.
Chaque zone cible de métrologie comprend une pluralité de parties de réseau de diffraction individuelles, lesquelles sont utilisées pour des mesures de recouvrement basées sur une diffraction ou d'autres mesures basées sur une diffraction.
A dark field diffraction based overlay metrology device illuminates an overlay target that has at least three pads for an axis, the three pads having different programmed offsets.
La présente invention porte sur un dispositif de métrologie de recouvrement basé sur diffraction en champ sombre qui éclaire une cible de recouvrement qui a au moins trois pièces pour un axe, les trois pièces ayant différents décalages programmés.
an overlay error is determined using a diffraction based overlay target by generating a number of narrow band illumination beams that illuminate the overlay target
une erreur de superposition qui est déterminée à l'aide d'une cible de superposition à base de diffraction en produisant un certain nombre de faisceaux d'éclairage à bande étroite qui éclairent la cible de superposition
DARK FIELD DIFFRACTION BASED OVERLAY
RECOUVREMENT BASÉ SUR DIFFRACTION EN CHAMP SOMBRE
DIFFRACTION BASED OVERLAY LINEARITY TESTING
TEST DE LA LINÉARITÉ DE RECOUVREMENT BASÉ SUR LA DIFFRACTION
PARALLEL ACQUISITION OF SPECTRA FOR DIFFRACTION BASED OVERLAY
ACQUISITION PARALLÈLE DE SPECTRES POUR UN RECOUVREMENT BASÉ SUR LA DIFFRACTION
An empirical diffraction based overlay (eDBO) measurement of an overlay error is produced using diffraction signals from a plurality of diffraction based alignment pads (PI, P2, P3, P4) from an alignment target (100,100').
Cette mesure est produite au moyen de signaux de diffraction provenant d'une pluralité de pastilles d'alignement basées sur la diffraction (PI, P2, P3, P4) à partir d'une cible d'alignement (100,100').
Synoniemen voor diffraction based overlay in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
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