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in a substrate processing system
Vertaling van "in a substrate processing system" in Frans
dans un système de traitement de substrat
un système de traitement de substrats
smart component-based management techniques in a substrate processing system
techniques de gestion basées sur un composé intelligent dans un système de traitement de substrat
a conveyor assembly suitable for use in a substrate processing system, comprising
un ensemble transporteur approprié pour être utilisé dans un système de traitement de substrat. ledit ensemble comprend
Orienter chambers for determining the orientation of a substrate in a substrate processing system are provided.
Cette invention concerne des chambres d'orientation destinées à déterminer l'orientation d'un substrat dans un système de traitement de substrats.
method and apparatus for reducing contamination of a substrate in a substrate processing system
procédé et appareil permettant de réduire la contamination d'un substrat dans un système de traitement de substrat
Aspects of the present invention include a method and an apparatus that may be utilized to adjust processing times in a substrate processing system.
Certains aspects de la présente invention concernent un procédé et un appareil pouvant être utilisés pour régler des temps de traitement dans un système de traitement de substrat.
A film position adjusting method is provided to easily correct a discrepancy of a film depositing position in a substrate processing system.
La présente invention concerne un procédé d'ajustement de la position d'un film qui permet de corriger facilement une anomalie relative à la position de dépôt d'un film dans un système de traitement de substrat.
The method includes diagnosing a level of contamination in a substrate processing system, scheduling a wet clean process when necessary, and scheduling a dry clean process when necessary.
Le procédé comprend le diagnostic d'un niveau de contamination dans un système de traitement de substrat, la programmation d'un traitement de nettoyage humide lorsque cela s'avère nécessaire, et la programmation d'un traitement de nettoyage à sec lorsque cela est nécessaire.
A fluid distribution member assembly for use in a substrate processing system includes a fluid distribution member having a central portion and a perimeter portion.
L'invention porte sur un ensemble d'éléments de distribution de fluide, lequel ensemble est destiné à être utilisé dans un système de traitement de substrat, et comprend un élément de distribution de fluide ayant une partie centrale et une partie périphérique.
Disclosed is a holder stage for aligning glass substrates and/or holders such that the glass substrates are arranged and aligned safely on the holders and loaded to a substrate boat in a substrate processing system.
L'invention concerne une platine porte-objets servant à aligner des substrats de verre et/ou des porte-objets, de sorte que les substrats de verre soient disposés et alignés en toute sécurité sur les porte-objets et chargés dans une nacelle à substrats d'un système de traitement de substrats.
a method and apparatus for cleaning a chamber in a substrate processing system having less reactivity with the chamber walls and the components contained therein
un procédé et un appareil de nettoyage d'une chambre dans un système de traitement de substrat présentant une réactivité réduite avec les parois de la chambre et les composants contenus dans la chambre
in a substrate processing system of a preferred example, the center of a wafer is aligned by pressing the edge thereof from different directions by means of a plurality of rollers
dans un système de traitement de substrat d'un exemple préféré de l'invention, le centre d'une plaquette est aligné par pressage du bord de celle-ci, à partir de différentes directions, au moyen d'une pluralité de galets
in one aspect. a method is provided for processing a substrate including positioning a substrate having a silicon material disposed thereon in a substrate processing system. depositing a first metal layer on the substrate surface in a first processing chamber
dans un mode de procédé de traitement de substrat consiste à positionner un substrat recouvert de matériau à base de silicium dans un système de traitement de substrat. à déposer une première couche métallique sur la surface du substrat dans une première chambre de traitement
aspects of the present invention include methods and apparatuses that may be used for monitoring and adjusting plasma in a substrate processing system by using a plasma data monitoring assembly
l'invention concerne, suivant certains aspects, des procédés et des appareils pouvant être utilisés pour le contrôle et le réglage d'un plasma dans un système de traitement d'un substrat, au moyen d'un ensemble de contrôle de données de plasma
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