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substrate in a processing system
Vertaling van "substrate in a processing system" in Frans
substrat dans un système de traitement
A substrate holder for supporting a substrate in a processing system and controlling the temperature thereof is described.
L'invention concerne un porte-substrat servant à supporter un substrat dans un système de traitement et à réguler la température de ce dernier.
Generally, a robot for transferring a substrate in a processing system and a method of determining a position of the robot is provided.
L'invention se rapporte de manière générale à un robot conçu pour transférer un substrat dans un système de traitement, ainsi qu'à un procédé permettant de déterminer la position dudit robot.
methods and apparatus for providing a process gas to a substrate in a processing system are disclosed herein
l'invention porte sur des procédés et sur un appareil pour délivrer un gaz de procédé à un substrat dans un système de traitement
A load cup apparatus for transferring a substrate in a processing system includes a pedestal assembly having a substrate support, an actuator, and a controller.
Selon la présente invention, un appareil à coupelles de charge permettant de transférer un substrat dans un système de traitement comprend un ensemble socle comportant un support de substrat, un actionneur et un organe de commande.
a method for affecting a creation of a recipe for processing a substrate in a processing system is provided
l'invention propose un procédé permettant de créer une formule afin de traiter un substrat dans un système de traitement
a substrate holder for supporting a substrate in a processing system includes a temperature controlled support base having a first temperature, and a substrate support opposing the temperature controlled support base and configured to support the substrate
un support de substrat destiné à supporter un substrat dans un système de traitement comprenant une base pour support thermorégulée ayant une première température, et un support de substrat conçu pour supporter le substrat et situé à l'opposé de la base pour support thermorégulée
an apparatus for processing a substrate in a processing system having multiple process chambers and a common transfer chamber comprises a process chamber having a process space to receive and process a substrate and a buffer chamber defining a buffer space
un appareil pour le traitement de substrats consistant en un système présentant plusieurs chambres de traitement et une chambre commune de transfert
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