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interferometer system
Vertaling van "interferometer system" in Frans
système d'interféromètre
système interférométrique
système d'interférométrie
système interféromètre
système d'interféromètres
A calibration wafer and a method for calibrating an interferometer system are disclosed.
L'invention porte sur une tranche d'étalonnage et sur un procédé pour étalonner un système d'interféromètre.
the interferometer system is structured to provide a measurement beam
le système d'interféromètre est structuré de manière à fournir un faisceau de mesure
interferometer system with two wavelengths, and lithographic apparatus provided with such a system
système interférométrique à deux longueurs d'onde, et appareil lithographique pourvu de ce système
The measurement process using the interferometer system is well performed and exposure is performed at high accuracy also in immersion exposure.
Le processus de mesure utilisant le système interférométrique est réalisé de façon satisfaisante et l'exposition est réalisée avec une grande précision, également dans une exposition à immersion.
fiber-based interferometer system for monitoring an imaging interferometer
système d'interférométrie à fibres optiques pour contrôler un interféromètre d'imagerie
an interferometer system includes a beam steering element positioned to direct the measurement beam, and not the reference beam
un système d'interférométrie comprend un élément d'orientation de faisceau positionné afin d'orienter un faisceau de mesure et non un faisceau de référence
The invention relates to a straightness interferometer system, for measuring transverse deviations in the relative movement of machine parts.
Système d'interféromètre de rectitude permettant de mesurer les déviations transversales dans le mouvements relatifs de pièces de machines.
differential interferometer system and lithographic step-and-scan apparatus provided with such a system
système d'interféromètre différentiel et dispositif lithographique à balayage par étapes pourvu d'un tel système
Signal processing apparatus is described for processing a plurality of analogue signals from the detectors, for example, of a laser interferometer system.
Appareil de traitement de signaux permettant le traitement d'une pluralité de signaux analogues provenant des détecteurs, par exemple, d'un système d'interféromètre à laser.
A laser interferometer system is disclosed which is able to make measurements of any deviations in the movement of a machine component which is moving along a main movement axis.
Le système d'interféromètre à laser décrit permet de mesurer n'importe quel écart de mouvement d'un composant de machine qui se déplace le long d'un axe de mouvement principal.
The laser interferometer system of the present invention includes a laser light source part, an optical interferometer, a frequency converter, and a phase measurer.
Le système d'interféromètre laser de l'invention comprend une partie source lumineuse laser, un interféromètre optique, un convertisseur de fréquence et un dispositif de mesure de phase.
For high precision positioning of the first part, an interferometer system (731,730) is provided.
Un système d'interféromètre (731,730) est utilisé pour positionner ladite première partie avec un degré de précision élevé.
Photoacoustic signals are excited from a body and the excited photoacoustic signals are detected with a low coherence interferometer system serving as a photoacoustic detector.
Des signaux photoacoustiques sont produits par excitation à partir d'un corps et les signaux photoacoustiques produits par excitation sont détectés par un système interférométrique à faible cohérence servant de détecteur photoacoustique.
Synoniemen voor interferometer system in het Engels
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