He had determined the scale and introduced and imposed the lithographic process.
The lithographic process is used to form at least two periodic structures on the substrate.
A method for verifying a lithographic process is described.
An estimated pattern is calculated using a model of the lithographic process.
The present invention relates to a method and device for monitoring a lithographic process of an integrated circuit.
La présente invention porte sur un procédé et un dispositif pour surveiller un traitement lithographique d'un circuit intégré.
Inspection method and apparatus, lithographic apparatus, lithographic process line and device manufacturing method
Procédé d'inspection et appareil, appareil lithographique, ligne de traitement lithographique et procédé de fabrication du dispositif
An intra-level, hybrid electron beam/optical lithographic process.
Procédé lithographique hybride à rayon électronique/optique intra-niveau.
She explores the lithographic process through a sensitive approach to the representation of natural objects.
Elle explore le processus lithographique à travers une approche sensible de la représentation d'objets naturels.
The doped regions are defined by depositing the dopants on the substrate using a lithographic process.
Les régions dopées sont définies par dépôt de dopants sur le substrat, à l'aide d'un procédé lithographique.
According to the present invention, monodisperse nanoparticle arrays can be deposited through a block copolymer lithographic process.
Selon la présente invention, les réseaux de nanoparticules monodispersées peuvent être déposés par un procédé lithographique à copolymères séquencés.
The compositions are suitable for use as planarizing underlayer in a multilayer lithographic process, including a trilayer lothographic process.
Les compositions sont appropriées pour former la sous-couche d'aplanissement dans un procédé lithographique multicouche, notamment tricouche.
a lithographic process for forming a pattern in relief
ce procédé lithographique pour former un motif en relief
Methods are disclosed for measuring target structures formed by a lithographic process on a substrate.
La présente invention se rapporte à des procédés permettant de mesurer des structures cibles formées sur un substrat par un procédé lithographique.