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immersion lithographic process
Vertaling van "immersion lithographic process" in Frans
procédé lithographique par immersion
immersion lithographic process using a conforming immersion medium
procédé lithographique à immersion mettant en oeuvre un milieu d'immersion conforme
The water purge agent is used for removing water for exposure in a liquid immersion lithographic process and contains a nonaqueous solvent.
L'agent de purge de l'eau est utilisé pour retirer l'eau utilisée lors de l'exposition dans un procédé lithographique par immersion liquide et comprend un solvant non aqueux.
This invention provides a water purge agent and a method for resist pattern formation using the same that can reduce defects in a liquid immersion lithographic process.
L'invention concerne un agent de purge de l'eau et une méthode de formation de motifs de réserve l'utilisant et pouvant réduire les défauts dans un procédé lithographique par immersion liquide.
More specifically the embodiments of the present invention are related to norbornene-type polymers useful for forming top-coat layers for overlying photoresist layers in immersion lithographic process and the process thereof.
L'invention concerne plus particulièrement des polymères de type norbornène utiles pour former des couches de finition destinées à recouvrir des couches de résine photosensible dans des procédés lithographiques par immersion, et le procédé d'utilisation de ceux-ci.
more specifically the embodiments of the present invention are related to norbornene-type polymers useful for forming imaging layer and top-coat layers for overlying such imaging layers in immersion lithographic process and the process thereof.
plus particulièrement des modes de réalisation de l'invention concernent des polymères de type norbonène utiles dans la formation de couches d'imagerie et de couches de finition destinées à recouvrir lesdites couches d'imagerie dans un procédé lithographique par immersion. l'invention concerne également le procédé associé.
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Synoniemen voor immersion lithographic process in het Engels
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