The resist compositions may be useful in other lithographic processes as well.
Lesdites compositions de réserve s'utilisent également tout aussi bien dans d'autres processus lithographiques.
methods of reducing proximity effects in lithographic processes
technique permettant de réduire des effets de proximité lors de processus lithographiques
Such nanoscale focusing of atoms or molecules by coherent light can be used for executing nanometric lithographic processes.
Une telle mise au point à échelle nanométrique d'atomes ou de molécules par une lumière cohérente peut servir à exécuter des procédés de lithographie nanométriques.
magnetic lens apparatus for use in high-resolution scanning electron microscopes and lithographic processes
dispositif faisant lentille magnétique servant dans des microscopes électroniques à balayage à haute résolution et dans des procédés de lithographie
a metrology for determining bias or overlay error in lithographic processes
une métrologie permettant de déterminer un biais ou une erreur de recouvrement dans des procédés lithographiques
Also provided are methods using said compositions as antireflective coatings for substrates in lithographic processes.
La présente invention a trait également à des procédés utilisant lesdites compositions en tant que revêtements antireflet destinés à des substrats lors de processus lithographiques.
The present invention provides photoacid generators for use in chemically amplified resists and lithographic processes using the same.
La présente invention porte sur des générateurs de photoacides en vue d'une utilisation dans des résists chimiquement amplifiés, et sur des procédés lithographiques les utilisant.
Anti-reflective and/or planarization compositions can be formed using these compounds and used in lithographic processes, including fabrication of microelectronic structures.
Les compositions antireflet et/ou de planarisation peuvent être formées en utilisant ces composés et être utilisées dans des procédés lithographiques, dont la fabrication de structures micro-électroniques.
A method for obtaining a developer solvent for radiation-sensitive negative resists which are used in lithographic processes for the production of electronic microchips.
Procédé pour obtenir un solvant de développement pour des vernis négatifs sensibles au rayonnement utilisés dans des procédés lithographiques pour la production de puces électroniques.
The compositions are especially useful in lithographic processes used to configure underlying material layers on a substrate, especially metal or semiconductor layers.
Ces compositions sont particulièrement indiquées pour les processus lithographiques utilisés pour configurer les couches de matériaux sous-jacentes sur un substrat, en particulier le couches de métaux ou de semi-conducteurs.
A control arrangement uses the system identification to control subsequent lithographic processes performed by the lithographic apparatus.
Un dispositif de commande utilise cette identification de système pour commander des processus lithographiques ultérieurs mis en œuvre par le dispositif lithographique.
Potentieel gevoelige of ongepaste informatie
Er worden alleen voorbeelden gegeven om u te helpen het woord of de woordcombinatie waarop u hebt gezocht, te vertalen. Deze worden niet door ons geselecteerd of gevalideerd en kunnen ongepaste taal bevatten. Wij vragen u melding te maken van voorbeelden die dienen te worden aangepast of verwijderd. Vertalingen met grof of informeel taalgebruik worden meestal rood of oranje gemarkeerd.