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load lock chambers
Vertaling van "load lock chambers" in Frans
sas de chargement
sas de charge
chambres de verrouillage de charge
a processing device wherein two load lock chambers
un dispositif de traitement dans lequel deux sas de chargement
or a group of load lock chambers
ou un groupe de sas de chargement
a substrate processing system having a transfer chamber having two processing chambers and two load lock chambers coupled thereto is generally provided
de manière générale un système de traitement de substrats qui comprend une chambre de transfert incluant deux chambres de traitement et deux sas de chargement couplés à celles-ci
the functional member units are attached to a base member at which the housing of a transport chamber and the housings of the load lock chambers are combined into one.
les unités d'éléments fonctionnels sont fixées à un élément de base au niveau duquel le boîtier d'une chambre de transport et les boîtiers des sas de chargement sont combinées en un seul.
whereby the substrate transfer device capable of increasing the degree of integration of the device while suppressing the expansion of a foot print and sharing the load lock chambers can be provided.
() ainsi, le dispositif de transfert de substrats permet un degré d'intégration du dispositif accru, une réduction de l'encombrement et le partage des sas de chargement.
A wafer handling chamber is in selective communication with the load lock chambers.
Une enceinte de manipulation de plaquettes est en communication sélective avec les sas.
It provides fast pump down of load lock chambers with low energy consumption.
Elle offre un pompage rapide de chambres de sas et une consommation d'énergie réduite.
The wafer handling chamber has a robot that is capable of accessing substrates in both of the load lock chambers.
L'enceinte de manipulation de plaquettes comprend un robot capable d'accéder aux substrats dans les deux sas.
are set as load lock chambers.
sont conçues pour servir de sas de charge.
the vacuum conveyor system may be modular with independent modules linked via load lock chambers
le système de convoyage à vide peut être modulaire avec des modules indépendants reliés via des chambres d'écluses de charge
and a load lock chambers connected to at least one transfer chamber.
et une chambre de blocage de charge reliée à au moins une chambre de transfert.
A transfer chamber of a semiconductor processing tool is adapted to couple to plural process and/or load lock chambers.
L'invention concerne une chambre de transfert d'un outil de traitement de semi-conducteurs, conçue pour s'adapter à diverses chambres de traitement et/ou de fixation de charges.
In a first embodiment, a load lock assembly, comprising two load lock chambers configured to accommodate a multiplicity of large substrates, is coupled to a processing chamber with an input/output port.
Dans un premier mode de réalisation, un ensemble de sas comprenant deux chambres à sas, configurées afin d'héberger une multiplicité de grands substrats, est couplé à une chambre de traitement à orifice d'entrée/sortie.
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Synoniemen voor load lock chambers in het Engels
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