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procédés de gravure pour pile de cellule de mémoire magnétique
The substrate does not have diffusion regions between each memory cell stack to link the memory cells.
Le substrat, entre chaque empilement de cellules de mémoire, est exempt de régions de diffusion reliant les cellules de mémoire.
The flash memory cell stack string is formed from a plurality of flash memory cell stacks arranged into a line.
La chaîne d'assemblage de cellules de mémoires flash est formée à partir d'une pluralité d'assemblages de cellules de mémoire flash disposés en ligne.
Moreover, in an embodiment, a diffusion barrier layer dispose most of the magnetic memory cell stack is etched with hydrogen and fluorine containing gas in a separate process chamber.
Par ailleurs, dans un mode de réalisation, une couche barrière de diffusion disposée dans la majeure partie de la pile de cellule de mémoire magnétique est gravée au moyen d'un gaz contenant de l'hydrogène et du fluor dans une chambre de traitement séparée.
and etching at least the doped amorphous silicon layer, the insulating layer, and the control gate layer to form at least one memory cell stack structure and at least one select transistor stack structure
puis à nettoyer au moins la couche de silicium amorphe dopé, la couche isolante et la couche de grille de commande de manière à former au moins une structure de pile de cellule de mémoire et au moins une structure de pile de transistor sélectionné
the flash memory cell stack comprises
l'assemblage de cellules de mémoire flash comprend
More particularly, HCl is used as a main etchant gas for etching a magnetic memory cell stack.
Plus particulièrement, on utilise du HCl comme gaz de gravure pour graver une pile de cellule de mémoire magnétique.
The present invention relates to a flash memory cell stack, a flash memory cell stack string, a cell stack array, and a fabrication method thereof.
La présente invention porte sur un assemblage de cellules de mémoire flash, sur une chaîne d'assemblages de cellules de mémoire flash, sur une barrette d'assemblages de cellules et sur leur procédé de fabrication.
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