Electrical contact for a mems device and method of making
The cantilever of the MEMS device may have a waffle-type microstructure.
Le porte-à-faux du dispositif MEMS peut avoir une microstructure à réseau croisé.
mems device having distance stops
The MEMS device has a suspended portion.
stress release mechanism in mems device and method of making same
mécanisme de libération des tensions dans un dispositif mems et son procédé de production
electrical conditioning of mems device and insulating layer thereof
conditionnement électrique d'un dispositif mems et de sa couche isolante
low vibration rectification in a closed-loop, in-plane mems device
faible rectification de vibration dans un dispositif mems à boucle fermée dans le plan
mems device having contact and standoff bumps and related methods
dispositif mems comprenant un contact et des bosses d'écartement, et procédés associés
Integrated die level isolation for a mems device
Isolation intégrée au niveau de la puce pour un dispositif mems
capacitive mems device with programmable offset voltage control
dispositif mems capacitif avec commande programmable de la tension de décalage
surface micromachined mems device with structure and circuitry
dispositif mems micro-usiné en surface comprenant une structure et un circuit
methods for forming layers within a mems device to achieve a tapered edge
procédés de formation de couches à l'intérieur d'un dispositif mems pour obtenir un bord effilé
hybrid mems fabrication method and new optical mems device
procédé hybride de fabrication de mems et nouveau dispositif mems optique