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multiple electron beam
Vertaling van "multiple electron beam" in Frans
faisceaux d'électrons multiples
de faisceaux électroniques multiples
Among NGL, one can find the promising mask-less direct-write techniques (ML2) in which multiple electron beam lithography (multibeam lithography) is regarded as a serious candidate for providing high resolution structures at a low cost.
Parmi elles, les solutions de lithographie à faisceaux d'électrons multiples semblent très prometteuses grâce à leur écriture directe sans masque (ML2), ainsi que leur coût et encombrement réduits.
During operation, the process receives measured CD values which were obtained using a CD-SEM extraction process, wherein the CD-SEM extraction process determines a measured CD value for a feature by measuring multiple CD values of the feature along multiple electron beam scans.
Pendant l'opération, le procédé reçoit des valeurs CD mesurées obtenues au moyen d'un procédé d'extraction CD-SEM qui détermine une valeur CD mesurée pour une caractéristique par mesure des multiples valeurs CD de la caractéristique conjointement avec des balayages de faisceaux d'électrons multiples.
gated photocathode for controlled single and multiple electron beam emission
photocathode à grille destinée à l'émission contrôlée de faisceaux d'électrons simples et multiples
retarding electron beams in multiple electron beam pattern generation
faisceaux électroniques à retard dans une génération de configuration de faisceaux électroniques multiples
The apparatus further includes an array of multiple electron beam columns formed in the region using an array of bores through magnetic material.
L'appareil comprend en outre un alignement de colonnes multiples à faisceaux d'électrons formées dans la région à l'aide d'un alignement d'alésages traversant un matériau magnétique.
further, methods to inspect primary electron beams, to adjust final focus lengths and to calibrate the multiple electron beam device are provided.
la présente invention concerne également des procédés pour contrôler les faisceaux électroniques primaires, pour régler les longueurs focales finales et pour étalonner le dispositif à multiples faisceaux électroniques.
microelectronic multiple electron beam emitting device
dispositif microélectronique émetteur d'électrons à plusieurs faisceaux
DETECTOR OPTICS FOR MULTIPLE ELECTRON BEAM TEST SYSTEM
COMPOSANTS optiques de détecteur pour système d'essai à faisceau d'électrons multiple
A multiple electron beam pattern generator (100) includes a multiple electron beam source (235) to generate a plurality of electron beams (110) that are modulated according to a pattern.
Un générateur (100) de configuration de faisceaux électroniques multiples comprend une source (235) de faisceaux électroniques multiples destinée à générer une pluralité de faisceaux électroniques (110) qui sont modulés selon une configuration.
Synoniemen voor multiple electron beam in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
Resultaten: 9. Exact: 9. Verstreken tijd: 32 ms.
