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Modeling suggests that critical dimension control for 100 nm features can be improved from 3 nm to less than about 0.5 nm.
Une modélisation suggère qu'une gestion des dimensions critiques pour des caractéristiques de 100 nm peut être améliorée de 3 nm jusqu'à moins d'environ 0,5 nm.
the wavelength of the radiation from the radiation source ranges substantially from more than 350 nm to less than 1400 nm.
la source de rayonnement émet sensiblement un rayonnement d'une longueur d'ondes supérieure à 350 nm et inférieure à 1400 nm.
It is also preferable that the minimum radius of curvature of the corners of the shapes formed when the markers (5) are viewed in plan view is 250 nm to less than 10 µm.
Il est également préférable que le rayon minimum de courbure des coins des formes présentées lorsque les marqueurs (5) sont vus en plan aille de 250 nm à moins de 10 µm.
the blue light component is a light component emitted by a first solid light emitting element that emits light having an emission peak in a wavelength range of 430 nm to less than 490 nm
le composant de lumière bleue est un composant de lumière émis par un premier élément émetteur de lumière à semi-conducteur lequel émet une lumière présentant un pic d'émission dans une gamme de longueurs d'onde comprise entre 430 nm et moins de 490 nm
and the number density of those having a particle diameter of 5 nm to less than 20 nm is 3 -6 as represented by the ratio to the number density of those having a particle diameter of 20 - 50 nm.
et la densité en nombre de celles ayant un diamètre de particule de 5 nm à moins de 20 nm est de 3 à 6 tel que représenté par le rapport à la densité en nombre de celles ayant un diamètre de particule de 20 à 50 nm.
the anodic oxide film has a reverse moth eye structure comprising multiple recesses, the two-dimensional size of which when viewed from the surface normal direction is from 10 nm to less than 500 nm
le film d'oxyde anodique présente une structure en oeil de papillon ("moth eye") inverse à alvéoles multiples, dont la taille en 2D, vue depuis la direction normale à la surface, va de 10 nm à moins de 500 nm
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