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programmable patterning device
Vertaling van "programmable patterning device" in Frans
dispositif de réalisation de motifs programmable
dispositif de modélisation programmable
The programmable patterning device is configured to provide a plurality of radiation beams.
Le dispositif de modélisation programmable est configuré pour produire une pluralité de faisceaux de rayonnement.
A lithographic apparatus having a programmable patterning device and a projection system.
La présente invention concerne un appareil lithographique qui présente un dispositif de modélisation programmable et un système de projection.
A radiation beam expander is also provided, that is configured to project an image of the programmable patterning device onto said lens.
Un dilatateur de faisceau de rayonnement est également disposé, lequel est configuré pour projeter une image du dispositif de réalisation de motifs programmable sur ladite lentille.
The optical column has a programmable patterning device configured to provide a plurality of radiation beams and a projection system configured to project the plurality of beams onto the substrate.
Cette colonne optique comporte un dispositif programmable de formation de motifs conçu pour obtenir une pluralité de faisceaux de rayonnement et un système de projection conçu pour projeter ladite pluralité de faisceaux sur le substrat.
A system for controlling the focus of a maskless lithographic apparatus is provided, in which a projection system for projecting an image of a programmable patterning device onto a substrate is provided.
L'invention porte sur un système pour commander la focalisation d'un appareil lithographique sans masque, dans lequel système un système de projection pour projeter une image d'un dispositif de réalisation de motifs programmable sur un substrat est disposé.
LITHOGRAPHIC APPARATUS, PROGRAMMABLE PATTERNING DEVICE AND LITHOGRAPHIC METHOD
APPAREIL LITHOGRAPHIQUE, DISPOSITIF DE RÉALISATION DE MOTIFS PROGRAMMABLE ET PROCÉDÉ LITHOGRAPHIQUE
METHOD OF CONTROLLING A PROGRAMMABLE PATTERNING DEVICE IN A LITHOGRAPHIC APPARATUS, DEVICE MANUFACTURING METHOD AND LITHOGRAPHIC APPARATUS
PROCÉDÉ DE COMMANDE D'UN DISPOSITIF DE FORMATION DE DESSINS DANS UN APPAREIL LITHOGRAPHIQUE, PROCÉDÉ DE FABRICATION DU DISPOSITIF ET APPAREIL LITHOGRAPHIQUE
Synoniemen voor programmable patterning device in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
Resultaten: 7. Exact: 7. Verstreken tijd: 340 ms.
