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dispositif de formation de motifs
dispositif de structuration
dispositif de modélisation
dispositif de mise en forme
dispositif de formation de motif
dispositif de modelage
dispositif de moirage
dispositif de dessin
dispositif de réalisation de motifs
dispositif de formation de dessins
dispositif de génération de motif
of the patterning device to at least one second force
lithographic apparatus, device manufacturing method, cleaning system and method for cleaning a patterning device
appareil lithographique, procédé de fabrication de dispositif, système de nettoyage et procédé de nettoyage d'un dispositif de structuration
The programmable patterning device is configured to provide a plurality of radiation beams.
Le dispositif de modélisation programmable est configuré pour produire une pluralité de faisceaux de rayonnement.
A lithographic apparatus having a programmable patterning device and a projection system.
La présente invention concerne un appareil lithographique qui présente un dispositif de modélisation programmable et un système de projection.
The method further includes clamping the patterning device to a support within the lithographic apparatus using an applied voltage.
Le procédé comprend en outre le pinçage du dispositif de modélisation à un support dans l'appareil lithographique à l'aide d'une tension appliquée.
Afterwards, the patterning device is removed, along with any particles on the material layer, from the support.
Ensuite, le dispositif de modélisation est retiré, avec toute particule sur la couche de matière, du support.
Lithographic apparatus and controllable patterning device utilizing a spatial light modulator with distributed digital to analog conversion
Appareil de lithographie et dispositif de formation de motifs contrôlable utilisant un modulateur spatial de lumière avec conversion numérique analogique distribuée
The lithographic apparatus further includes a movable stage comprising a support structure that may be configured to support a patterning device.
L'appareil lithographique comprend en outre un étage mobile qui comprend une structure de support qui peut être conçue pour supporter un dispositif de formation de motifs.
configurable patterning device and a method of making integrated circuits using such a device
dispositif de formation de motifs configurable et procédé de production de circuits intégrés au moyen de ce dispositif
The method includes loading a patterning device (302) into a lithographic apparatus.
Le procédé comprend le chargement d'un dispositif de modélisation (302) dans un appareil lithographique.
The apparatus has a chuck system (100) for supporting an object, such as the substrate or the patterning device, in the lithographic apparatus.
Cet appareil possède un système de mandrin afin de soutenir un objet, tel le substrat ou le dispositif de modélisation, dans l'appareil lithographique.
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