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scatterometry
Vertaling van "scatterometry" in Frans
The disclosure is directed to various apodization schemes for pupil imaging scatterometry.
La présente invention porte sur différents schémas d'apodisation pour diffusiométrie d'imagerie de pupille.
apparatus and methods for scatterometry of optical devices
appareil et procédés de diffusiométrie de dispositifs optiques
Systems and methods for discrete polarization scatterometry are provided.
L'invention concerne des systèmes et des procédés de diffusométrie à polarisation discrète.
A scatterometry measurement is taken using radiation at a first wavelength.
On prend une mesure en diffusométrie, par utilisation d'un rayonnement ayant une première longueur d'onde.
This thesis has demonstrated that neural networks can well answer the problem of classification in ellipsometric scatterometry and their use can improve this optical characterization technique
Ce travail de thèse a montré que les réseaux de neurones peuvent bien répondre à la problématique de classification en scattérométrie ellipsométrique et que l'utilisation de ces derniers peut améliorer cette technique optique de caractérisation
This PhD involves assessing neural networks for dynamic scatterometry.
Cette thèse a pour but d'évaluer l'apport des réseaux de neurones en scattérométrie dynamique.
The wavelength of the radiation is then changed and a further scatterometry measurement taken.
La longueur d'onde du rayonnement est ensuite modifiée, et on prend une nouvelle mesure en diffusométrie.
If the scatterometry measurements are consistent across a range of wavelengths then the model is sufficiently accurate.
Si les mesures en diffusométrie sont cohérentes sur une certaine gamme de longueurs d'onde, alors le modèle est suffisamment précis.
Embodiments of the invention include a scatterometry target for use in determining the alignment between substrate layers.
Dans des modes de réalisation de l'invention, une cible de diffusiométrie est utilisée pour contrôler l'alignement entre des couches de substrat.
A method includes measuring, for a grating structure, a first signal and a second, different, signal obtained by optical scatterometry.
Le procédé consiste à mesurer, pour une structure de réseau, un premier signal et un second signal différent obtenus par diffusométrie optique.
interferometry method for ellipsometry, reflectometry, and scatterometry measurements, including characterization of thin film structures
procédé d'interférométrie pour mesures d'ellipsométrie, de réflectométrie, et diffusiométrie, y compris, la caractérisation de structures à films minces
method for process optimization and control by comparison between 2 or more measured scatterometry signals
procédé d'optimisation de processus et de commande par comparaison entre deux ou plusieurs signaux à diffusiométrie mesurée
alignment of the template with a previously formed layer on a substrate, in one embodiment, is accomplished by using scatterometry.
l'alignement du gabarit avec une couche formée au préalable sur un substrat, dans un mode de réalisation, est effectué par diffusiométrie.
Synoniemen voor scatterometry in het Engels
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