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using scatterometry
Vertaling van "using scatterometry" in Frans
utilisation de la diffusométrie
Alternatively, non-imaging methods, such as using scatterometry, may be used.
Sinon, des procédés sans imagerie, tels que la diffusiométrie, peuvent être utilisés.
method and apparatus for using scatterometry to perform feedback and feed-forward control
procédé et appareil d'utilisation de la diffusométrie à des fins de commande rétroactive et par action directe
using scatterometry to develop real time etch image
utilisation de la diffusométrie dans le développement d'une image de gravure en temps réel
using scatterometry to optimize circuit structure manufacturing processes
utilisation d'une diffusiométrie pour obtenir des mesures de structures intra-circuit
In order to improve overlay measurement, product marker gratings on a substrate are measured in a lithographic apparatus by an alignment sensor using scatterometry.
Pour améliorer la mesure du recouvrement, on mesure des réseaux de marqueurs de produit sur un substrat, dans un appareil de lithographie, grâce à un capteur d'alignement utilisant la diffusométrie.
alignment of the template with a previously formed layer on a substrate, in one embodiment, is accomplished by using scatterometry.
l'alignement du gabarit avec une couche formée au préalable sur un substrat, dans un mode de réalisation, est effectué par diffusiométrie.
a method of using scatterometry measurements to determine and control conductive interconnect 30 profiles is disclosed
l'invention concerne un procédé destiné à utiliser des mesures diffusiométriques pour déterminer et contrôler des profils d'interconnexions conductrices
Physical properties o the ocean surface, cartography of the ocean topography using altimetry, determination of surface winds using scatterometry, temperature mapping, phytoplankton mapping.
Propriétés physiques de la surface des océans, cartographie de la topographie océanique par altimétrie, détermination des vents en surface par diffusiométrie, cartographie de la température, du phytoplankton.
a position information measuring method capable of easily obtaining information on a relative position deviation between two marks by using scatterometry or reflectometry
un procédé de mesure d'informations de position permettant d'obtenir facilement des informations sur une position relative entre deux marques par diffusométrie et réflectométrie
scatterometers and methods of using scatterometry to determine several parameters of periodic microstructures, pseudo-periodic structures, and other very small structures having features sizes as small as 100 nm or less
des diffusiomètres et des procédés d'utilisation de la diffusiométrie pour déterminer plusieurs paramètres de microstructures périodiques, de structures pseudopériodiques et d'autres structures très petites ayant des formats de caractéristiques inférieurs ou égaux à 100 nm
line profile asymmetry measurement using scatterometry
mesure de l'asymétrie de profils linéaires par diffusiométrie
Richard Silver, a scientist at NIST, said that if the width of an object is calculated to be 40 nm using scatterometry, the actual width would vary more or less by 3 nm.
Richard Argentent, un scientifique au NIST, a dit que si la largeur d'un objectif est prévue pour être 40 nanomètre utilisant scatterometry, la largeur réelle varierait plus ou moins par 3 nanomètre.
APPARATUS AND METHOD FOR DETECTING OVERLAY ERRORS USING SCATTEROMETRY
APPAREIL ET PROCEDE DE DETECTION D'ERREURS DE SURIMPRESSION UTILISANT UNE DIFFUSIOMETRIE
Synoniemen voor using scatterometry in het Engels
Woord & uitdrukking van de dag
Afbeelding van de dag
Resultaten: 13. Exact: 13. Verstreken tijd: 353 ms.
